[논문]고분자 기판위에 다층 구조의 박막형 보호층을 적용한 투습률 향상

김종환; 한진우; 김영환; 서대식

doi:10.4313/jkem.2006.19.3.255

고분자 기판위에 다층 구조의 박막형 보호층을 적용한 투습률 향상
Improvement of Permeation of Applied Multi-layer Encapsulation of Thin Films on Ethylene Terephthalate(PET) 원문보기

전기전자재료학회논문지 = Journal of the Korean institute of electronic material engineers, v.19 no.3, 2006년, pp.255 - 259

김종환 (연세대학교 전자공학과) , 한진우 (연세대학교 전자공학과) , 김영환 (연세대학교 전자공학과) , 서대식 (연세대학교 전자공학과)

Abstract ▼ AI-Helper

In this paper, the inorganic-organic thin film encapsulation layer was newly adopted to protect the organic layer from moisture and oxygen. Using the electron beam, Sputter and Spin-Coater system, the various kinds of inorganic and organic thin-films were deposited onto the Ethylene Terephthalate(PET) and their interface properties between organic and inorganic layer were investigated. In this investigation, the SiON and Polyimide(PI) layer showed the most suitable properties. Under these conditions, the WVTR(water vapour transition rate) for PET can be reduced from level of $0.57\;g/m^2{\cdot}day$ (bare subtrate) to $1{\times}10^{-5}\;g/m^2{\cdot}day$ after application of a SiON and Polyimide layer. These results indicates that the SiON/PI/SiON/PI/PET barrier coatings have high potential for flexible organic light-emitting diode(OLED) applications.

주제어

AI 본문요약
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문제 정의

본 논문에서는 고효율 장수명의 Flexible OLED 소자 제작을 위해 현재 가장 많이 사용되고 있는 PET(Ethylene Terephthalate) 필름 위에 Multi-layer 구조로 무기 박막과 유기 박막을 번갈아 증착 하여 증착 조건에 따른 투습률을 측정하였다[6, 7].
본 연구에서는 Multi-lay或를 증착함에 있어 발생하는 스트레스를 최소화하기 위해 총 3가지 타 입의 모델을 실험하였다.

제안 방법

본 연구에서는 다층 무기 박막의 투습률을 알아보기 위해 200-㎛ 두께의 PET(Ethylene Terephthalate) 필름을 약 300 sec 동안 과산화 수소, 암모니아 그리고 물을 각각 1:1:5의 비율로 혼합한 용액에서 세척한 후 N₂ 가스로 blowing 한 뒤 Electron beam 장비에서 SiO₂ 를 110 ℃ 조건으로 증착하였다. 증착 두께는 5-6 nm/sec 속도로 약 200 nm로 하였다.
Curinge 110 ℃에서 약 2시간 동안 하였다. 이와 같은 공정을 각각 한 번씩 추가로 진행하여 Multi- layer를 구성하였다.
Calsium Test를 위한 Calsiume Thermal Evapora- tor 으로 증착하였다. 표면의 roughness 측정은 AFM으로 하였다. 증착 두께는 Alpha Step를 사용하여 측정하였다.

대상 데이터

본 논문에서는 고효율, 장수명의 Flexible OLED 소자를 제작하기 위한 Encapsulation 기술 개발을 위하여 고온에서 증착된 SiO₂ 박막과 Sputter로 증착한 SiON 과 유기물층으로는 Polyimide와 Polyacryl 을 사용하였다.
유기물층은 Polyimide와 Poly acrlyic을 사용하였으며 Spin Coater 기를 이용하여 Spread 500 rpm, Spin 3000 rpm으로 코팅 coating 하였다. Curinge 110 ℃에서 약 2시간 동안 하였다.
그림 1의 세 가지 모델의 stree simulation한 결과 Type 2의 stress가 가장 적은 것으로 나타났다[8, 11, 12]. 이를 바탕으로 투습률 측정을 위한 모델의 제작은 Type 2로 하였으며 표 2과 같이 유 기물 층과 무기물층 을 각각 SiO₂, SiON 그리고 Polyimide, Polyacryl 로 하여 총 4가지 Type의 모델을 제작하였다.

이론/모형

투습률 측정은 MOCON사의 PERMATRAN-W 3/33, MA로 측정하였으며 MOCON으로 측정 불 가능한 투습률은 Calsium Test로 측정하였다. Calsium Test를 위한 Calsiume Thermal Evapora- tor 으로 증착하였다.

참고문헌 (12)

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표제어: PCR

동의어: Packet Collision Rate

용어 설명 출처 목록 (6)

용어 설명: PCR은 세균 특이성이 있는 primer를 이용하여 적은 수의 세균이 있을지라도 쉽게 검출할 수 있는 유용한 방법이며, 이를 이용하여 구강 내 치면세균막이나 타액에서 직접 세균을 검출할 수 있게 되었다[8].

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