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나노 광 프로브 어레이 구현을 위한 광학 헤드 유닛 개발

Development of Optical Head Unit for Nano Optical Probe Array

소성가공 = Transactions of materials processing : Journal of the Korean society for technology of plastics v.15 no.1 = no.82 , 2006년, pp.21 - 26  
김홍민 (연세대학교 기계공학부 ) ;  임지석 ( 연세대학교 기계공학부 ) ;  김석민 ( 연세대학교 기계공학부 ) ;  한정원 ( 연세대학교 기계공학부 ) ;  강신일 ( 연세대학교 기계공학부)
Abstract

A optical head unit for nano optical probe array was developed. The optical probe array is generated by Talbot effect. The shape and thickness of microlens array(MLA) were designed to minimize the spot size at the foci of MLA. To increase the optical efficiency of the system and obtain the large tolerance for fabrication, aperture size was theoretically optimized. Then microlens illuminated aperture array(MLIAA) as an optical head unit was fabricated using a ultra violet(UV) molding process on aluminum aperture array. In this process, Al aperture array was fabricated separately using the photolithography and reactive ion etching(RIE) process. Optical properties of the generated optical probes were measured and compared at Talbot distance from the aperture array having a diameter of $1{\mu}m$ and MLIAA.

주제어

#Nano Optical Probe   #Optical Head Unit   #Microlens illuminated Aperture Array   #Talbot Effect  

저자의 다른 논문

김홍민(9) 임지석(15) 김석민(14) 한정원(6) 강신일(79)

참고문헌 (11)

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