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논문 상세정보

Abstract

Microlens arrays were fabricated by a modified LIGA process composed of the exposure of a PMMA (Polymethylmethacrylate) sheet to deep x-rays and subsequent thermal treatment. A successful modeling and analyses for microlens formation were presented according to the experimental procedure. A nickel mold insert was fabricated by the nickel electroforming process on the PMMA microlens arrays fabricated by the modified LIGA process. For the replication of microlens arrays having various diameters with different foci on the same substrate, both hot embossing and microinjection molding processes have been successfully utilized with the fabricated mold insert. Replicated microlenses showed very good surface roughness with the order of 1 nm. The focal lengths of the injection molded microlenses were successfully estimated theoretically and also measured experimentally.

참고문헌 (11)

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  3. P. Ruther, B. Gerlach, J. Gottert, M. Ilie, J. Mohr, A. Muller, C. Opmann, 1997, Fabrication and characterization of microlenses realized by a modified LIGA process, Pure Appl. Opt., Vol. 6, pp. 643-653 
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  6. S. K. Lee, K. C. Lee, S. S. Lee, 2002, A simple method for microlens fabrication by the modified LIGA process, J. Micromech. Microeng., Vol. 12, pp. 334-340 
  7. H. S. Lee, S. K. Lee, T. H. Kwon, S. S. Lee, 2002, Birefringence distribution in V-grooved optical parts by hot embossing process, Proc. IEEELEOS Optical MEMS 2002, Lugano, Switzerland, pp. 135-136 
  8. B. K. Lee, D. S. Kim, T. H. Kwon, 2004, Replication of microlens arrays by injection molding, Microsyst., Technol., Vol. 10, pp. 531-535 
  9. E. Hecht, 2002, Optics, Addison-Wesley, New York 
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  11. D. S. Kim, S. S. Yang, S. K. Lee, T. H. Kwon, S. S. Lee, 2003, Physical modeling and analysis of microlens formation fabricated by a modified LIGA process, J. Micromech. Microeng., Vol. 13, pp. 523-531 

이 논문을 인용한 문헌 (2)

  1. Je, S.K. ; Park, S.H. ; Choi, C.K. ; Shin, B.S. 2009. "A Study on Rapid Fabrication of Micro Lens Array using 355nm UV Laser Irradiation" 소성가공 = Transactions of materials processing : Journal of the Korean society for technology of plastics, 18(4): 310~316 
  2. Je, S.K. ; Park, S.H. ; Choi, C.K. ; Shin, B.S. 2009. "A Study on Rapid Fabrication of Micro Lens Array using 355nm UV Laser Irradiation" 소성가공 = Transactions of materials processing : Journal of the Korean society for technology of plastics, 18(4): 310~316 

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