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병렬구조의 압력측정 시스템 개발
Development of a Pressure Measurement System with the Parallel Structure 원문보기

전기전자재료학회논문지 = Journal of the Korean institute of electronic material engineers, v.19 no.4, 2006년, pp.328 - 333  

윤의중 (호서대학교 정보제어공학과) ,  김좌연 (호서대학교 신소재공학과) ,  이강원 (한국생산기술연구원 메카트로닉스팀) ,  이석태 (한국생산기술연구원 메카트로닉스팀)

Abstract ▼ AI-Helper 아이콘AI-Helper

In this paper, we developed a pressure measurement apparatus with the parallel structure to improve the measurement efficiency of pressure sensors by reducing the measurement time of pressure. The developed system has two parallel positions for loading Silicon pressure sensor and has a dual valve st...

주제어

#Silicon pressure sensor   #Pressure measurements   #Serial structure   #Parallel structure  

AI 본문요약
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문제 정의

  • 본 연구에서는 기존의 일반적인 압력센서 측정 장치인 직렬 구조를 개선하여 2중 밸브에 의한 병렬 구조를 제작하였으며, 이를 통하여 최소한 50 % 이상의 대기시간에서의 효율을 높이는 결과를 얻었다.
  • 개수는 제한적이다. 본 연구에서는 이를 보완하기 위하여 기존의 일반적인 구조를 개선하여 양산성을 높일 수 있는 병렬 구조를 고안하였다.
  • 응용범위가 점차 넓어지고 있는 반도체 MEMS 기 술에 의한 압력센서 의 개발 완료단계, 또는 양산화 단계에서 생산성을 높일 수 있는 방법을 연구하였다. 본 연구에서는 기존의 일반적인 압력센서 측정 장치인 직렬 구조를 개선하여 2중 밸브에 의한 병렬 구조를 제작하였으며, 이를 통하여 최소한 50 % 이상의 대기시간에서의 효율을 높이는 결과를 얻었다.
  • 형태의 압력측정 시스템이 가지는 측정 시간의 문제점을 해결하기 위한 새로운 병렬구조의 미세압력 측정 시스템을 개발하여, 다양화되는 압력센서개발의 최종단계 및 양산단계에서의 압력센서 특성측정에 있어서 생산성 향상에 기여하고자 한다.
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참고문헌 (7)

  1. 김우정, 조용수, 강현재, 최시영, '압저항형 압력센서를 이용한 초소형 하중센서의 개발', 센서학회지, 14권, 4호, p. 237, 2005 

    원문보기 상세보기

  2. J. M. Borkey and K. D. Wise, 'Integrated signal conditioning for pressure sensor', IEEE T-ED, Vol. ED-26, p. 1906, 1979 

  3. H. Tanigawa, T. Ishihara, M. Hirata, and K. Suzuki, 'MOS integrated silicon pressure sensor', IEEE T-ED, Vol. ED-32, No. 7, p. 1191, 1985 

  4. G. Kaltsas, D. Goustouridis, A. G. Nassiopoulou, and D. Tsoukalas, 'Combination of integrated thermal flow and capacitive pressure sensors for high sensitivity flow measurements in both laminar and turbulent regions', J. of Physics, Conference Series, Vol. 10, p. 277, 2005 

  5. V. Voronin, I. Maryamova, and Y. Zaganyachi, 'Silicon whiskers of mechanical sensors', Sensors and Actuators, Vol. A30, p. 27, 1992 

  6. A. Druzhinin, E. Lavitska, and I. Maryamova, 'Medical pressure sensors on the basis of silicon microcrystals and SOI layers', Sensors and Actuators B, Vol. 58, p. 415, 1999 

  7. Copal Electronics Catalog, 'Pressure Transducer', Copal Electronics, p. 1, 2005 

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