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논문 상세정보

전자빔 가공기의 지능형 원격 빔 조절 기능의 개발

Development of Intelligent Remote Beam Control Function in E-Beam Manufacturing System

Abstract

The use electron-beam(E-beam) manufacturing system provides a means to alleviate optic exposure equipment's problems. We are developing an E-beam manufacturing system with scanning electron microscope(SEM) function. The E-beam manufacturing system consist of high voltage generator, beam blanker, condenser lenses, object lenses, stigmator and stage. The development of E-beam manufacturing system is used on the method of remaking SEM's structure. The functions of SEM are developed. It is important for the test of E-beam performance. In E-beam manufacturing system and SEM, beam focus is important function. In this paper, we propose intelligent remote control function for beam focus in E-beam manufacturing system. The function extends the user's function and gives convenience.

저자의 다른 논문

참고문헌 (12)

  1. Moreau, W. M., 1988, Semiconductor lithography, Plenum publishing corporation, pp. 29-52 
  2. Brewer, G. R., 1980, Electron-Beam Technology in Microelectronic Fabrication, Academic press, pp. 60-213 
  3. Photomultiplier tubes manual, Hamanatsu Ltd 
  4. Steven, H. L., Femando, P. and John, C. D., 2002, 'Internet Congestion Control,' IEEE Control Systems Magazine, pp. 28-42 
  5. Operation manual Scanning Electron Microscope, Topcon 
  6. Goldstein, J. I. and Newbury, D. E., 1992, Scanning Electron Microscopy and X-Ray Microanalysis, Plenum press, pp. 21-270 
  7. JEOL industructions manual 
  8. Lim, S. J. and Lyou, J., 2003, 'Improvement in Operation Efficiency for Chip Mounter Using Web Server,' International Journal of KSPE, Vol. 4, pp. 5-11 
  9. Ren, C. and Tse, M. C., 2000, 'Development of a Multibehavior-Based Mobile Robot for Remote Supervisory Control Through the Internet,' IEEE/ASME Trans. Mechatronics, Vol. 5, No. 4 
  10. Kenneth, T. and Barney, D., 2000, 'Internet Robots: A New Rbotics Niche,' IEEE Robotics & Automation Magazine, pp. 27-34 
  11. Ministry of Commerce Industry & Energy, 2005, Development of an Electron Beam Ultra-precision Manufacturing System, pp. 4-7, 2005 
  12. Lim, S. J. and Kang, C. H., 2005, 'Controller Design for Electron Beam Manufacturing System,' 2005's KSPE Spring Annual Meeting, pp. 1862-1865 

이 논문을 인용한 문헌 (2)

  1. Jung, H.U. ; Park, M.J. ; Kim, D.H. ; Jang, D.Y. ; Park, K. 2007. "Numerical Analysis for the Image Evaluation of a Thermionic SEM" 한국공작기계학회논문집 = Transactions of the Korean society of machine tool engineers, 16(6): 153~158 
  2. Lim, Sun-Jong ; Lee, Chan-Hong 2007. "Hardware Design for the Control Signal Generation of Electron Optic by Focal Length" 한국공작기계학회논문집 = Transactions of the Korean society of machine tool engineers, 16(5): 96~100 

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