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NTIS 바로가기전기전자재료학회논문지 = Journal of the Korean institute of electronic material engineers, v.19 no.5, 2006년, pp.461 - 466
유인성 (원광대학교 전기전자 및 정보공학부) , 소순진 ((주)나리지 온 옵토디바이스사업부) , 박춘배 (원광대학교 전기전자 및 정보공학부)
To investigate the ZnO thin films which are interested in the next generation of short wavelength LEDs and Lasers, the ZnO thin films were deposited by RF sputtering system. At sputtering process of ZnO thin films, substrate temperature, work pressure respectively is
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