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논문 상세정보

비정질 As-Ge-Se-S 박막에서 선택적 에칭을 통한 2차원 엠보싱형 홀로그램 제작

2- Dimensional Embossing Type Hologram Fabrication in Amorphous As-Ge-Se-S with the Selective Etching

Abstract

In this paper, we investigated the selective etching rate of amorphous As-Ge-Se-S thin film due to the photoexpansion effect and fabricated the 2-dimensional embossing type diffraction grating hologram. We measured the thickness change with the etching time among NaOH solution after forming 1-dimension diffraction grating. As a results, we found that the selective etching rate were $2.5\AA/s,\;3.3\AA/s,\;3.9\AA/s$ where NaOH solution concentration were 0.26N, 0.33N, 0.36N, respectively. Also after the formation of 2-dimensional diffraction grating by the $90^{\circ}$ degree of circulation on the formed 1-dimensional diffraction grating, we etched selectively during 60sec, among 0.26N NaOH solution and obtained 2-dimensional embossing diffraction grating. As the results of AFM (Atomic Force Microscopy), we confirmed the formation of distinct embossing type 2-dimensional diffraction grating hologram, successfully.

참고문헌 (8)

  1. M. Vlcec, P. J. S. Ewen, T. Wagner, 'High efficiency diffraction gratings in As-S layers', J. of Non-Cryst. Solids, Vol. 227-230, p. 743, 1998 
  2. R. R. Gerke, T. G. Dubrovina, P. A. Dmitrikov, M. D. Mikhailov, 'Obtaining holographic diffraction gratings on light sensitive layers of chalcogenide glasses by dry etching', J. Opt. Technol, Vol. 64, No. 11, p.1008, 1997 
  3. K. Shimakwa, 'In-situ photoexpansion measurement of amorphous $As_2S_3$ films :Role of photo carriers', Applied physics letters, Vol. 74, No. 15, p. 2119, 1999 
  4. K. Tanaka, 'Sub-gap excitation effect in $As_2S_3$ glass', J. of Non-Cryst. Solid, Vol. 266-269, p. 889, 2000 
  5. J. Y. Chun, S. H. Park, H. Y. Lee and H. B. Chung,'Estimation of the anisotropy magnitude in amorphous $As_{40}Ge_{10}S_{35}Se_{15}$ thin films by an interference method', J. of KIEEME, Vol. 11, No. 9, p. 749, 1998 
  6. S. H. Park, J. Y. Chun, H. Y. Lee, H. B. Chung, 'The relaxation and elimination characteristics of polarization-photoinduced dichroism in obliquely deposited amorphous chalcogenide thin films', J. of KIEEME, Vol. 11, No. 10, p.891, 1998 
  7. C. H. Yeo, S. J. Jang, J. I. Park, H. Y. Lee, H. B. Chung, 'The measurement on diffraction efficiency in polarization holography using amorphous chalcogenide thin films' J. of KIEEME, Vol. 12, No. 12, p. 1192, 1999 
  8. S. R. Elliott, 'Physics of Amorphous Materials', pp, 392-398, 1990 

이 논문을 인용한 문헌 (1)

  1. Chung, Hong-Bay 2006. "Photodissolution, photodiffusion characteristics and holographic grating formation on Ag-doped $As_{40}Ge_{10}Se_{15}S_{35}$ chalcogenide thin film" 전기학회논문지. The transactions of the Korean Institute of Electrical Engineers. C/ C, 전기물성·응용부문, 55(10): 461~466 

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