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마이크로웨이브 플라즈마 화학기상증착법에 의한 탄소나노튜브의 성장특성

Growth of Carbon Nanotubes by Microwave Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition

전기전자재료학회논문지 = Journal of the Korean institute of electronic material engineers, v.19 no.6, 2006년, pp.501 - 506  

최성헌 (군산대학교 전자정보공학부) ,  이재형 (군산대학교 전자정보공학부)

Abstract AI-Helper 아이콘AI-Helper

Carbon nanotubes (CNTs) were grown with a microwave plasma enhanced chemical vapor deposition (MPECVD) method, which has been regarded as one of the most promising candidates for the synthesis of CNTs due to the vertical alignment, the low temperature and the large area growth. MPECVD used methane (...

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문제 정의

  • 그리고 전 처리된 Ni 촉매층에 탄소나노튜브의 성장시키면서 그에 따른 성장모습을 관찰했다. 또한 탄소나노튜브의 합성 시 압력에 따른 성장구조와 형태를 연구하였다.
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참고문헌 (21)

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