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논문 상세정보

Abstract

A micromachined piezoelectric microspeaker was fabricated with a highly c-axis oriented ZnO thin film on a silicon-nitride film having compressive residual stress. When it was measured 3 mm away from the microspeaker in open field, the largest sound pressure level produced by the fabricated microspeaker was about 91 dB at around 2.9 kHz for the applied voltage of $6\;V_{peak-to-peak}$. The key technologies to these successful results were as follows: (1) the usage of a wrinkled diaphragm caused by the high compressive residual stress of silicon-nitride thin film, (2) the usage of the highly c-axis oriented ZnO thin film.

저자의 다른 논문

참고문헌 (16)

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이 논문을 인용한 문헌 (2)

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  2. Jeong, Kyong-Shik ; Cho, Hee-Chan ; Yi, Seung-Hwan 2008. "Characteristics of Piezoelectric Microspeakers according to the Material Properties" 전기전자재료학회논문지 = Journal of the Korean institute of electronic material engineers, 21(6): 556~561 

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