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논문 상세정보

Switched Reluctance 추진 원리에 기초한 자기 부상형 위치결정기구

A Magnetic Suspension Stage Based on the Switched Reluctance Propulsion Principle


This paper is about the magnetic suspension stage based on the Switched Reluctance propulsion principle. Because the previous studies on contact-free stage adopted the Lorentz force for main force generation mechanism they have suffered from thermal problem deteriorating the precision. Thus, the magnetic suspension stage adopting SR principle which can achieve high force density is proposed. The main operating principle and structure for achieving high resolution and long travel range are represented. The magnetic force analysis of each actuator, providing back data for dynamic modeling and controller design are carried out. By conducting basic experiments, the feasibility of the proposed system is shown. In addition the problems which should be improved and their solutions are represented.

참고문헌 (8)

  1. Toriumi, M., 1991, 'Positioning Techniques in Semiconductor Manufacturing Equipment,' JSPE, Vol. 57, pp. 24-28 
  2. Jin, J. and Higuchi, T., 1997, 'Direct Electrostatic Levitation and Propulsion,' IEEE Trans. Industrial Electronics, Vol. 44, No. 2, pp. 234-239 
  3. Jin, J., Yih, C., Higuchi, T. and Jeon, J. D., 1998, 'Direct Electrostatic Levitation and Propulsion of Silicon Wafer,' IEEE Trans Indust. Applications, Vol. 34 No. 5, pp. 975-984 
  4. Kim, W. J. and Trumper, D. L., 1998, 'High-Precision Magnetic Levitation Stage for Photolithography,' Precision Eng., Vol. 22, No. 2, pp. 66-77 
  5. Sawyer, B. A., Dec. 24. 1974, 'Actuating System,' U.S. Patent 3 857078 
  6. Tomita, Y. and Koyanagawa, Y., 1998, 'Study on a Surface Motor Driven Precise Positioning System,' J. Dyn. Syst., Meas. Contr., Vol. 3, No. 2, pp. 113-119 
  7. Jung, K. S., Lee, S.H. and Baek, Y. S., 2002, 'Feasibility Study of General Purpose Precision Stage Using a Novel Contact Free Surface Actuator Based on Magnetic Suspension Technology,' Trans. of KSME A, Vol. 267, No. 3, pp. 452-460 
  8. Raters, H. C., 1951, Electromagnetic Devices, John Wiley & Sons, Inc 

이 논문을 인용한 문헌 (1)

  1. 2008. "" International journal of precision engineering and manufacturing, 9(3): 82~84 


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