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NTIS 바로가기韓國眞空學會誌 = Journal of the Korean Vacuum Society, v.15 no.3, 2006년, pp.273 - 279
김순규 (한국과학기술연구원 나노소자연구센터) , 장준연 (한국과학기술연구원 나노소자연구센터)
This study explored the possibility of porous Si (PS) formed by indirect electrode anodization used for effective isolation material for radio frequency integrated circuits (RFIC). We investigated the effect of current density and reaction time on the porosity size and depth, and X-ray diffraction o...
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