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Pre-processing for the Design of Micro-fluid Flow Sensing Elements

KSTLE international journal, v.7 no.1, 2006년, pp.22 - 26  

Kim Jin-Taek (Department of Precision Mechanical Engineering, Chonbuk National University) ,  Pak Bock-Choon (School of Mechanical & Aerospace Engineering, Chonbuk National University) ,  Lee Cheul-Ro (School of Advanced Materials Engineering, Chonbuk National University) ,  Baek B.J. (School of Mechanical & Aerospace Engineering, Chonbuk National University)

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A simple finite element analysis is performed to simulate the thermal characteristics of a micro sensor package with thin film heater embedded in the glass wall of a micro-channel. In this paper, Electric characteristics of ITO sputtered heater were presented in this study, which can be used as a ma...

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  • The effect of thermo-physical properties ofmaterials, geometrical structure and boundary condition on the thermal performance was investigated. The thermal flow meter, which has a linear relationship between flow rate and heater temperature, was also proposed in this study.
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참고문헌 (15)

  1. Nguyen, N. T., Wereley, S. T., 'Fundamentals and Applications of Microfluidics,' Artech House, INC., 2002 

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  3. Lin, Y. C., Yang, C. C, Huang, M. Y., 'Simulation and experimental validation of micro polymerase chain reaction chips,' Sensors And Actuators B 71, pp. 127-133,2000 

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  5. Yang, M., Pal, R., Burns, M. A., 'Cost-effective thermal isolation techniques for use on microfabricated DNA amplification and analysis devices,' J. Micromech. Microeng. 15, pp. 221-230, 2005 

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  7. Elwenspoek, M., Wiegerink, R., 'Mechanical Microsensors,' Springer 

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  12. Gaitan, M., Locascio, L. E., 'Embedded Micro-Heating Elements in Polymeric Micro-Channels for Temperature Control and Fluid Flow Sensing,' J. Res. Natl. Inst. Stand. Technol. 109, pp. 335344,2004 

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  14. COMSOL Multi-physics 3.2 user's guide 2005 

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