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논문 상세정보

원환형 덮개장착이 스피너 장비의 기류에 미치는 영향

EFFECTS OF PLACEMENT OF A TORUS PLATE COVER ON AIR FLOW IN A SPINNER EQUIPMENT

Abstract

A numerical investigation is made of air flow in a spinner equipment used for cleanning and drying flat display panels. A unique feature of the spinner under question is the placement of a torus plate cover over the rotating plate. The turbulent flow is driven by rotation of a large disk and suction by the exhaust system connected to vacuum chamber. The flow is modelled as an axisymmetric two-dimensional flow and computation is conducted by using the FLUENT package with a version of k-$\varepsilon$ turbulence model. The required capacity of the exhaust system is assessed numerically. The usefulness of the cover in controlling air flow circulation is examined. A computational trouble shooting is attempted to resolve the problem of panel rising which occurred in real experiment.

참고문헌 (13)

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