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논문 상세정보

LED 효율 향상을 위한 Texture구조 AZO 박막의 제조와 광학적 특성분석

Analysis on the Optical Properties and Fabrication of Textured AZO Thin Films for Increasing the Efficiency of LED

Abstract

The transparent conductive oxide(TCO) has been used in necessity as front electrode for increasing efficiency of LED. In our paper, aluminium-doped zinc oxide films(AZO), which has transparent conducting were prepared with RF magnetron sputtering system on glass substrate(corning 1737) and annealed at $400^{\circ}C$ for 2 hr in vacuum ambient and $600^{\circ}C$ for 2hr with $O_2$ ambient respectively. The smooth AZO films were etched in diluted HCL(0.5 %) to examine the surface properties, which in ambient post-annealing process. We confirmed that the electric, structural and optical properties of textured AZO thin films, which implemented using the methods of XRD, FWHM, AFM and Hall measurement. The properties of textured AZO thin films especially depended on the ambient post-annealing process. We presumed that the change of transmittances as R G B LED and the ambient post-annealing process will be increasing the efficiency of LED.

참고문헌 (16)

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이 논문을 인용한 문헌 (5)

  1. Jin, Eun-Mi ; Shin, Eun-Chul ; Kim, Tae-Wan ; Park, Choon-Bae 2007. "Analysis on the Electrical.optical Properties and fabrication of OLED with AZO Anode Electrode" 전기전자재료학회논문지 = Journal of the Korean institute of electronic material engineers, 20(4): 357~362 
  2. Jeong, Yun-Hwan ; Jin, Hu-Jie ; Park, Choon-Bae 2008. "The Increase of Photodiode Efficiency by using Transparent Conductive Aluminium-doped Zinc Oxide Thin Film" 전기전자재료학회논문지 = Journal of the Korean institute of electronic material engineers, 21(9): 863~867 
  3. Jeong, Yun-Hwan ; Chen, Hao ; Jin, Hu-Jie ; Park, Choon-Bae 2009. "Analysis of Electrical Property of Room Temperature-grown ZnO:Al Thin films Annealed in Hydrogen Ambient" 전기전자재료학회논문지 = Journal of the Korean institute of electronic material engineers, 22(4): 318~322 
  4. Kim, Dae-Il 2011. "Effect of Post Deposition Annealing Temperature on the Structural, Optical and Electrical Properties of GZO/Cu Films" 전기전자재료학회논문지 = Journal of the Korean institute of electronic material engineers, 24(9): 739~743 
  5. Xu, Bing ; Park, Choon-Bae ; Hoang, Geun-C. 2012. "Photoelectric Conversion Properties of Dye-sensitized Solar Cell in the Transparent Electrode of Textured-AZO/AZO/Glass" 전기전자재료학회논문지 = Journal of the Korean institute of electronic material engineers, 25(1): 37~43 

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