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NTIS 바로가기Bulletin of the Korean chemical society, v.28 no.4, 2007년, pp.533 - 537
Chung, Gwiy-Sang (School of Electrical Engineering, University of Ulsan) , Kim, Kang-San (School of Electrical Engineering, University of Ulsan)
This paper describes the heteroepitaxial growth of single-crystalline 3C-SiC (cubic silicon carbide) thin films on Si (100) wafers by atmospheric pressure chemical vapor deposition (APCVD) at 1350 oC for micro/nanoelectromechanical system (M/NEMS) applications, in which hexamethyldisilane (HMDS, Si2...
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오픈액세스 학술지에 출판된 논문
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