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Focal length에 의한 전자 렌즈의 제어 신호 생성을 위한 하드웨어 설계
Hardware Design for the Control Signal Generation of Electron Optic by Focal Length 원문보기

한국공작기계학회논문집 = Transactions of the Korean society of machine tool engineers, v.16 no.5, 2007년, pp.96 - 100  

임선종 (한국기계연구원, 지능기계연구센터) ,  이찬홍 (한국기계연구원, 지능기계연구센터)

Abstract ▼ AI-Helper 아이콘AI-Helper

Condenser lens and objective lens are used to demagnify the image of the crossover to the final spot size. In lens, electrons are focused by magnetic fields. This fields is fringing field. It is important in electron focusing. Electron focusing occurs the radial component field and axial component f...

주제어

#전자빔   #전자 현미경   #전자 렌즈   #집속 렌즈   #대물 렌즈   #전자 렌즈 제어   #프링징 자장   #반배율   #배율  

AI 본문요약
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문제 정의

  • 본 연구는 2개의 집속 렌즈와 하나의 대물 렌즈로 구성된 전자 현미경의 전자 렌즈 시스템에서 전자빔 이동 경로에 대한 기하학적인 분석과 Focal length의 설계를 기본으로 하여 전자 렌즈를 제어하기 위해 필요한 하드웨어 사양의 설계와 검증을 목적으로 하고 있다.
  • 본 연구는 개발중인 전자 현미경에서 Focal length를 이용해 전자 렌즈의 전류 제어에 필요한 하드웨어 사양을 설계 하고 제작하여 영상을 통해 검증하는 것을 목적으로 하고 있다. 연구 결과 다음의 결론을 얻을 수 있었다.
  • 본 연구에서 제작된 전자 렌즈와 하드웨어를 이용해 이미지 획득을 위한 실험을 시행하였다. 실험에서 사용된 고전압제어기(High voltage controller), 스캔 제어기(Scan controller) 그리고 공정 제어(Process controller)는 현재 개발중인 시제품을 사용하였다6.
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참고문헌 (5)

  1. Joseph, I., Dale, E., Patrick., E. and David. C., 1992, Scanning Electron Microscopy and X-Ray Microanalysis, PLENUM PRESS, pp. 43-57 

  2. John, T, L., 1993, ELECTRON BEAM TESTING TECHNOLOGY, Plenum Press, pp. 129-147 

  3. Lim, S. J. and Lee, C. H., 2006, 'Design of Control Signal Systemization for SEM,' KSMTE autumn conference, pp. 97-100 

  4. Lim, S. J., Lee, C. H. and Song, J. H., 2007, 'Agent Application for E-Beam Manufacturing System,' KSMTE, Vol. 16, No. 2, pp. 44-49 

  5. Lim, S. J., and Lyou, J., 2006, 'Development of Intelligent Remote Beam Control Function in E-Beam Manufacturing System,' KSMTE, Vol. 15, No. 2, pp. 24-24 

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