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스핀코팅 및 저온열처리에 의한 자외선 발광특성을 갖는 산화아연 박막의 제조
Preparation of ZnO Thin Films with UV Emission by Spin Coating and Low-temperature Heat-treatment 원문보기

한국안광학회지 = Journal of Korean Ophthalmic Optics Society, v.13 no.3 = no.32, 2008년, pp.73 - 77  

강보안 (남부대학교 의료공학과) ,  정주현 (건양대학교 안경광학과)

초록
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목적: 본 논문은 저온열처리로 비결정 또는 결정 ZnO 박막UV emission 가능하다는 것이다. 방법: 화학적 용액법을 이용하여 소다-라임-실리카 유리 위에 100, 150, 200, 250 및 $300^{\circ}C$로 열처리하여 비정질 및 나노 결정질 ZnO 박막을 제조하였으며, 박막의 성장 특성 및 광학적 특성을 X-선 회절 분석법, 자외선-가시광선-근적외선 분광법 및 발광분석법을 통하여 분석하였다. 결과: $100^{\circ}C{\sim}200^{\circ}C$에서 60분간 열처리된 박막은 비정질 특성을 나타내고 있었으며, $250^{\circ}C$$300^{\circ}C$로 열처리된 박막에서는 ZnO 결정상이 나타났다. 비정질 ZnO 박막의 PL분석에 의하면 매우 강한 Near-band-edge emission이 나타났으며, Green emission은 거의 검출되지 않았다. 결론: 앞으로는 저온에서 ZnO 광전자소자를 쉽게 제조할 수 있을 것이다.

Abstract AI-Helper 아이콘AI-Helper

Purpose: This research is that prepare amorphous or crystalline ZnO thin films with pure strong UV emission on soda-lime-silica glass (SLSG) substrates by low-temperature annealing. Methods: Growth characteristic and optical properties of the amorphous or nano-crystalline ZnO thin films prepared on ...

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  • Wang et al. as follows16: (i) The higher degree of disorder likely leads to intensity emission stronger than that of crystalline ZnO. (ii) Quan­ tum confinement effects (QCE) occur when the particle radius is of the order the exciton Bohr radius (1.
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