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국내 레이저 산업과 기술 동향-레이저 미세가공기 시장 동향 및 응용기술 현황 원문보기

광학세계 = The optical journal, no.117 = no.117, 2008년, pp.26 - 29  

이제훈 (한국기계연구원 지능형생산시스템 연구본부)

초록
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최근 디스플레이, 반도체, 모바일 기기 등 국가 전략 산업에서 레이저 미세가공기술의 응용이 확산됨에 따라 레이저 미세가공기의 수요가 급격히 증가할 것으로 예상되고 있으나, 현재 몇몇 외국 업체들이 국내외 레이저 미세가공기 시장의 대부분을 점유하고 있는 실정이다. 국내 레이저 미세가공기 업체들의 경쟁력을 제고하고, 최근 첨단산업분야에서의 고정세화/대면적화 추세에 효율적으로 대응하기 위해서는 가공공정 및 공정 모니터링 기술의 개발이 필수적이다.

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  • 박판은 알루미늄 프레임에 견장되어 있으나, 자중에 의한 처짐이 생겨서 패터닝 시 위치에 따라 가공 선폭의 차이가 발생하게 된다. 박판의 인장상태를 대칭으로 가정하고 전체 면적의 1/4에 대해 자동초점정렬을 수행하였다. 자동초점 정렬 모듈을 이용하여 초기 박판의 고정 상태를 측정한 결과 최대 간격 오차는 44 /m이며, 박판의 중심점에서 발생하였다(그림 5(a)).
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