$\require{mediawiki-texvc}$

연합인증

연합인증 가입 기관의 연구자들은 소속기관의 인증정보(ID와 암호)를 이용해 다른 대학, 연구기관, 서비스 공급자의 다양한 온라인 자원과 연구 데이터를 이용할 수 있습니다.

이는 여행자가 자국에서 발행 받은 여권으로 세계 각국을 자유롭게 여행할 수 있는 것과 같습니다.

연합인증으로 이용이 가능한 서비스는 NTIS, DataON, Edison, Kafe, Webinar 등이 있습니다.

한번의 인증절차만으로 연합인증 가입 서비스에 추가 로그인 없이 이용이 가능합니다.

다만, 연합인증을 위해서는 최초 1회만 인증 절차가 필요합니다. (회원이 아닐 경우 회원 가입이 필요합니다.)

연합인증 절차는 다음과 같습니다.

최초이용시에는
ScienceON에 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 로그인 (본인 확인 또는 회원가입) → 서비스 이용

그 이후에는
ScienceON 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 서비스 이용

연합인증을 활용하시면 KISTI가 제공하는 다양한 서비스를 편리하게 이용하실 수 있습니다.

Hydrophobicity and Nanotribological Properties of Silicon Channels coated by Diamond-like Carbon Films 원문보기

KSTLE international journal, v.10 no.1/2, 2009년, pp.1 - 5  

Pham, Duc Cuong (Nano-Bio Research Center, Korea Inst. of Sci. and Technol.) ,  Na, Kyung-Hwan (Dept. of Mech. Eng., Hanoi Univ. of Technol.) ,  Pham, Van Hung (Dept. of Mech. Eng., Hanoi Univ. of Technol.) ,  Yoon, Eui-Sung (Nano-Bio Research Center, Korea Inst. of Sci. and Technol.)

Abstract ▼ AI-Helper 아이콘AI-Helper

This paper reports an investigation on nanotribological properties of silicon nanochannels coated by a diamond-like carbon (DLC) film. The nanochannels were fabricated on Si (100) wafers by using photolithography and reactive ion etching (RIE) techniques. The channeled surfaces (Si channels) were th...

주제어

#Surface modification   #channels   #DLC   #tribology   #AFM  

AI 본문요약
AI-Helper 아이콘 AI-Helper

* AI 자동 식별 결과로 적합하지 않은 문장이 있을 수 있으니, 이용에 유의하시기 바랍니다.

제안 방법

  • All experiments were conducted in a clean room, at controlled temperature of 24±1o C and relative humidity of 45±5%, respectively.
  • The adhesion force (pull-off force) was calculated based on the acquired force curves and the average value was presented. Friction tests were carried out in lateral force microscope mode (LFM) [10], in the direction that across to the length of the channels. Before the friction measurements, the cantilever was calibrated for a conversion factor that allows converting lateral deflection signals directly into friction force, using the method described by Ruan and Bhushan [10].
  • In order to observe the effect of scale-dependence on adhesion and friction of the patterned surface, measurements were carried out using two different tips with diameter of 5 µm and 10 µm.
  • In this study, we investigate the effects of a combination of two kinds of surface modifications, namely silicon channels overcoated by DLC films, on hydrophobicity and nanotribological properties of silicon surfaces.

이론/모형

  • Water contact angle (WCA) of the modified and unmodified surfaces was examined by using a contact anglemeter (S.E.O) and sessile-drop method. For the channels, WCA was measured in two directions that are parallel and perpendicular to the channels.
본문요약 정보가 도움이 되었나요?

참고문헌 (16)

  1. Bhushan, B., Tribology Issues and Opportunities in MEMS, pp. 85, Kluwer Academic Publishers, Dordrecht, Netherlands, 1998 

  2. Bhushan, B., Springer Handbook of Nanotechnology, pp.983, Springer-Verlag, Berlin, Heidelberg, 2004 

  3. Yoon, E.-S., Singh, R. A., Oh, H. J, Kong, H., 'The effect of contact area on nano/micro-scale friction,' Wear, Vol. 259, pp.1424-1431, 2005 

    상세보기 crossref

  4. Kasai, T., Bhushan, B., Kulik, G., Barbieri, L., Hoffmann, P., 'Micro/nanotribological study of perfluorosilane SAMs for antistiction and low wear,' J. Vac. Sci. Technol. B, Vol. 23, pp. 995-1003, 2005 

    상세보기 crossref

  5. Robertson, J., 'Diamond-like amorphous carbon,' Materials Science and Engineering, R37, pp. 129-281, 2002 

  6. Pham, D. C., Ahn, H.-S., Oh, J.-E., Yoon, E.-S., 'Tribochemical Interactions of Si-doped DLC Film Against Steel in Sliding Contact,' J. Mech. Sci. Technol., Vol. 21, pp.1083-1089, 2007 

    원문보기 상세보기 crossref

  7. Yoon, E. -S., Singh, R. A., Kong, H., Kim, B., Kim, D. -H., Jeong, H. E., and Suh, K. Y., 'Tribological properties of biomimetic nano-patterned polymeric surfaces on silicon wafer,' Tribology Letters, Vol. 21, pp. 31-37, 2006 

    상세보기 crossref

  8. Pham, D. C., Singh, R. A., Yoon, E.-S., 'Dual Surface Modifications of Silicon Surfaces for Tribological Application in MEMS,; KSTLE International Journal, Vol. 8, pp. 26-28, 2007 

    원문보기 상세보기

  9. Marchetto, D., Rota, A., Calabri, L., Gazzadi, G. C. Menozzi, C., Valeri, S., 'AFM investigation of tribological properties of nano-patterned silicon surface,' Wear , Vol. 265, pp. 577-582, 2008 

    상세보기 crossref

  10. Bhushan, B., Handbook of Micro/Nano Tribology, 2^{nd} ed., pp.3-80, CRC Press, Boca Raton, 1999 

  11. Beake, B. D., Leggett, G. J., 'Variation of Frictional Forces in Air with the Compositions of Heterogeneous Organic Surfaces,' Langmuir, Vol.16, pp. 735-739, 2000 

    상세보기 crossref

  12. Zhao, Y., Lu, Q., Li, M., Li, Xin.,'Anisotropic Wetting Characteristics on Submicrometer-Scale Periodic Grooved Surface,' Langmuir, Vol. 23, pp. 6212-6217, 2007 

    상세보기 crossref

  13. Wenzel, R. N., 'Resistance of solid surfaces to wetting by water,' Ind. Eng. Chem., Vol. 28, pp. 988-994, 1936 

    상세보기 crossref

  14. Cassie, A. B. D., and Baxter, S., 'Wettability of porous surfaces,' Trans. Faraday. Soc., Vol. 40, pp. 546-551, 1944 

    상세보기 crossref

  15. Johnson, K. L., Kendall, K., Roberts, A. D., 'Surface energy and contact of elastic solid,' Proc. Roy. Soc. Lond. A Mater., Vol. 321, pp. 301-313, 1971 

  16. Bowden, F. P., Tabor, D., The friction and Lubrication of Solids, pp. 90-121, Clarenden Press., Oxford, 1950 

관련 콘텐츠

섹션별 컨텐츠 바로가기

AI-Helper ※ AI-Helper는 오픈소스 모델을 사용합니다.

AI-Helper 아이콘
AI-Helper
안녕하세요, AI-Helper입니다. 좌측 "선택된 텍스트"에서 텍스트를 선택하여 요약, 번역, 용어설명을 실행하세요.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.

선택된 텍스트

맨위로