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논문 상세정보

Abstract

Detecting defects on FPD (Flat Panel Display) color filter before the full panel is made is important to reduce the manufacturing cost. Among many types of defects, the low contrast blemish such as Suzi Mura is difficult to detect using standard CCD cameras. Even skilled inspectors in the inspection line can hardly identify such defects using bare eyes. To overcome this difficulty, point spectrometer has been used to analyze the spectrum to differentiate such defects from normal color filters. However, scanning ever increasing-size color filters by a point spectrometer takes too long time to be used in real production line. We propose a system using a spectral camera which can be viewed as a line scan camera composed of an array of point spectrometers. Three types of lighting system that exhibit different illumination spectrums are devised together with a calibration method of the proposed spectral camera system. To visualize the defect areas, various processing algorithms to identify and to enhance the small differences in spectrum between defective and normal areas are developed. Experiments shows 85% successful visualization. of real samples using the proposed system.

참고문헌 (8)

  1. 강희권. 'TFT-LCD panel에서의 line-mura 검출 자동화 시스템 개발,' 서울대학교, 2005. 
  2. 박성재, 검민수, 검준식, 주효남, 'FPD 결함 검사를 위한 vision inspection system 설계에 관한 연구,' 공업기술연구소 논문집, 제 24권, pp. 123-136, 2005 
  3. 조찬형, 'LCD 광학 검사 장치 개발에 관한 연구.' 금오공과대학교 산업대학원, 2007. 
  4. 김진수, '머신 비전을 이용한 LCD 패널 마크 인식,' 성균관대학교 대학원, 2007. 
  5. 고민석, 'TFT-LCD 표면 검사를 위한 라인 스캔 영상의 재구성,' 경북대학교 대학원, 2006 
  6. 문경수, 'Robust Regression을 이용한 TFT-LCD의 Mura 검출에 관한 연구,' 아주대학교 대학원, 2008. 
  7. 서용원, '디스플레이용 컬러 필터 분야 특허 동향,' 정보통신연구진흥원 학술정보 주간기술동향, 1228호, 2005. 
  8. 강민철, "LCD 컬러 필터 단차 얼룩 결함 검사 시스템과 검출 방법." 호서대학교 대학원, 2006. 

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