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NTIS 바로가기한국세라믹학회지 = Journal of the Korean Ceramic Society, v.46 no.5 = no.324, 2009년, pp.456 - 461
김경범 (한국세라믹기술원 이천분원 엔지니어링세라믹센터) , 김대민 (한국세라믹기술원 이천분원 엔지니어링세라믹센터) , 이정기 (인하대학교 신소재공학부) , 오윤석 (한국세라믹기술원 이천분원 엔지니어링세라믹센터) , 김형태 (한국세라믹기술원 이천분원 엔지니어링세라믹센터) , 김형순 (인하대학교 신소재공학부) , 이성민 (한국세라믹기술원 이천분원 엔지니어링세라믹센터)
Chemical composition and status of chemical bonding of the YAG(
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핵심어 | 질문 | 논문에서 추출한 답변 |
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대표적인 내플라즈마 소재는? | 2) 이러한 플라즈마 식각 공정에서 오염입자의 발생을 저감하기 위하여 플라즈마에 대하여 반응성이 낮은, 즉 내플라즈마성이 우수한 소재의 채택이 광범위하게 이루어지고 있다. 대표적인 내플라즈마 소재로 Al2O3를 들 수 있으며 최근에는 보다 내플라즈마성이 우수한 Y2O3가 일부 채택되고 있는 추세이다.3-10) | |
반도체 제조 공정에서 플라즈마 공정이 진행될 때 어떤 영향을 받는가? | 반도체 제조공정에서 초미세선폭화가 진행됨에 따라 플라즈마 공정이 진행되는 챔버에서 오염입자의 발생을 저감하는 것이 매우 중요한 주제가 되고 있다.1) 일반적으로 플라즈마 공정은 화학적으로 활성이 높은 라디칼을 생성하여 소재와의 화학적 반응을 촉진시킬 뿐 아니라 플라즈마에 의하여 해리된 양이온이 소재의 표면에 입사하여 반응을 촉진시키고 소재의 물리적인 식각을 동반하게 된다.2) 이러한 플라즈마 식각 공정에서 오염입자의 발생을 저감하기 위하여 플라즈마에 대하여 반응성이 낮은, 즉 내플라즈마성이 우수한 소재의 채택이 광범위하게 이루어지고 있다. | |
불소계 플라즈마에 노출된 YAG 단결정 표면을 XPS를 사용하여 관찰할 때 표면층에 Y 분석에서 서로 다른 두 가지의 바인딩 에너지를 가지는 XPS 피크가 동시에 관찰되는 이유는? | 그러나 깊이에 따른 Y, Al의 농도차이는 관찰되지 않았다. 표면층의 Y 분석에서 서로 다른 두 가지의 바인딩 에너지를 가지는 XPS 피크가 동시에 관찰되었는데, 이는 Y과 전기음성도가 높은 F의 결합이 표면 반응층에서 추가적으로 존재하기 때문으로 추정되었다. 화학양론적인 YAG 조성에서 Al2O3, Y2O3가 각각 과량으로 포함된 YAG 를 제조한 결과 이차 상으로 Al2O3와 YAlO3 상을 관찰할 수 있었다. |
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저자가 APC(Article Processing Charge)를 지불한 논문에 한하여 자유로운 이용이 가능한, hybrid 저널에 출판된 논문
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