$\require{mediawiki-texvc}$

연합인증

연합인증 가입 기관의 연구자들은 소속기관의 인증정보(ID와 암호)를 이용해 다른 대학, 연구기관, 서비스 공급자의 다양한 온라인 자원과 연구 데이터를 이용할 수 있습니다.

이는 여행자가 자국에서 발행 받은 여권으로 세계 각국을 자유롭게 여행할 수 있는 것과 같습니다.

연합인증으로 이용이 가능한 서비스는 NTIS, DataON, Edison, Kafe, Webinar 등이 있습니다.

한번의 인증절차만으로 연합인증 가입 서비스에 추가 로그인 없이 이용이 가능합니다.

다만, 연합인증을 위해서는 최초 1회만 인증 절차가 필요합니다. (회원이 아닐 경우 회원 가입이 필요합니다.)

연합인증 절차는 다음과 같습니다.

최초이용시에는
ScienceON에 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 로그인 (본인 확인 또는 회원가입) → 서비스 이용

그 이후에는
ScienceON 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 서비스 이용

연합인증을 활용하시면 KISTI가 제공하는 다양한 서비스를 편리하게 이용하실 수 있습니다.

스퍼터링법으로 TiN 및 ZrN 피막 코팅된 STD 61의 표면특성

Surface Characteristics of TiN and ZrN Film Coated STD 61 by Sputtering

한국표면공학회지 = Journal of the Korean institute of surface engineering, v.43 no.6, 2010년, pp.260 - 265  

은상원 (한국폴리텍V대학 신소재응용학과) ,  최한철 (조선대학교 치의학전문대학원 치과재료학교실 및 생체재료나노계면활성화센터)

Abstract AI-Helper 아이콘AI-Helper

STD 61 steel has been widely used for tools, metallic mold and die for press working because of its favorable mechanical properties such as high toughness, and creep strength as well as excellent oxidation resistance. The STD 61 tool steel coated with TiN and ZrN by sputtering results in improvement...

주제어

AI 본문요약
AI-Helper 아이콘 AI-Helper

* AI 자동 식별 결과로 적합하지 않은 문장이 있을 수 있으니, 이용에 유의하시기 바랍니다.

문제 정의

  • 따라서 본 연구에서는 TiN과 ZrN의 우수한 표면특성을 이용하여 마그네트스퍼터링 방법으로 TiN 및 ZrN 박막을 공구강(STD 61) 표면에 코팅하여 코팅막의 표면특성을 조사하였다.
본문요약 정보가 도움이 되었나요?

질의응답

핵심어 질문 논문에서 추출한 답변
절삭공구가 고속의 가공 및 고온에 견디기 위하여 공구자체와 공구표면은 어떤 특성을 가져야 하는가? 산업이 고도화됨에 따라 절삭가공에 있어서도 고속도화, 고능률화 및 고정밀화에 대한 요구가 점차 증대되고 있다. 이에 절삭공구가 고속의 가공 및 고온에 견디기 위하여 공구자체로는 큰 압축강도와 인성을 보유하고 있어야 하고 공구표면은 고온에 따른 확산이 일어나지 않도록 화학적으로 안정하여야 한다. 마찰 및 마모에 견딜 수 있도록 경도는 높아야 하며 또한 충분한 내식성을 갖추어야 한다.
내 절삭성, 경도와 내마모성 등을 겸비한 TiN 및 ZrN 코팅 방법을 통한 표면처리에서 TiN 및 ZrN은 어떤 장점이 있는가? 최근 공구 및 금형 등의 내구성 향상을 목적으로 내 절삭성, 경도와 내마모성 등을 겸비한 TiN 및 ZrN 코팅 방법을 통한 표면처리가 활발히 연구되고 있다. 이 중에서 특히 TiN 및 ZrN은 다른 코팅층에 비교하여 경도, 밀착성 및 내마모성 등의 기계적 성질이 우수하고, 고온에서 박막 중의 Zr이 선택적으로 산화됨으로써 박막표면에 Zr의 산화물이 우선적으로 생성된다. 따라서 Zr 산화물은 박막 내부의 산화를 방지하는 고온 산화특성 재료이므로 가공 중 공구 마모가 심하고 열 발생이 큰 고경도 재료를 가공 하는데 적절한 표면코팅 물질이며, 또한 단독의 질화물에서 볼 수 없는 표면 코팅재료서 우수한 특성을 보유하고 있어서 널리 응용되고 있다2-5). 이러한 이유로 기존의 연구들은 공구강에 TiN 및 ZrN을 코팅하여 공구강의 표면의 경도, 밀착성, 내마모성 등을 개선하려는 시도가 이루어졌다.
최근 공구 및 금형 등의 내구성 향상을 목적으로 어떤 연구가 활발히 진행되고 있는가? 이와 같은 요건을 만족시키기 위하여 공구의 표면에 경도가 크고 내마모성 및 내식성이 좋은 보호피막을 입히는 연구가 활발히 진행되어 왔다1). 최근 공구 및 금형 등의 내구성 향상을 목적으로 내 절삭성, 경도와 내마모성 등을 겸비한 TiN 및 ZrN 코팅 방법을 통한 표면처리가 활발히 연구되고 있다. 이 중에서 특히 TiN 및 ZrN은 다른 코팅층에 비교하여 경도, 밀착성 및 내마모성 등의 기계적 성질이 우수하고, 고온에서 박막 중의 Zr이 선택적으로 산화됨으로써 박막표면에 Zr의 산화물이 우선적으로 생성된다.
질의응답 정보가 도움이 되었나요?

참고문헌 (10)

  1. D. H. Cho, C. G. Lee, J. H. Yoon, Y. S. Choi, H. K. Sin, 창원대학교 생산기술연구소 논문집, 11 (1997) 445. 

  2. G. C. Ye, H. J. Shin, S. C. Kwon, W. S. Beak, J. of the Kor. Inst. of Met. & Mater., 31 (1993) 61. 

  3. J. J. Zhang, M. X. Yang, Q. X. Liu, D. J. Li, Surf. and Coat. Tech., 201 (2007) 5189. 

  4. D. W. Song, G. S. Yang, J. K. Lee, J. of the Kor. Soc. for Heat Treatment, 19 (2006) 225. 

  5. H. J. Bae, C. M. Lee, S. K. Hwang, S. W. Choi, J. of the Kor. Phy. Soc., 33 (1998) 689. 

  6. A. Rizzo, M. A. Signore, M. Pemza, M. A. Tagliente, F. D. Riccardis, E. Serra, Thin Solid Films, 515 (2006) 500. 

  7. C. J. Tavares, L. Rebouta, B. Almeida, J. Bessa e Sousa, Surf. and Coat., 100 (1998) 65. 

  8. T. Ana, H. W. Tiana, M. Wena, W. T. Zheng, Vacuum, 82 (2008) 1187. 

  9. H. Ljungcrantz, C. Engstrm, L. Hultman, M. Olsson, X. Chu, M. S. Wong, W. D. Sproul, J. Vac. Sci. Technol., A 16 (1998) 3104. 

  10. J. A. Thornton, A. S. Penfold, Thin Film Processes, edited by Vossen, J. L. and Kern, W., Academic Press (1978) 75. 

저자의 다른 논문 :

관련 콘텐츠

오픈액세스(OA) 유형

GOLD

오픈액세스 학술지에 출판된 논문

섹션별 컨텐츠 바로가기

AI-Helper ※ AI-Helper는 오픈소스 모델을 사용합니다.

AI-Helper 아이콘
AI-Helper
안녕하세요, AI-Helper입니다. 좌측 "선택된 텍스트"에서 텍스트를 선택하여 요약, 번역, 용어설명을 실행하세요.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.

선택된 텍스트