• 검색어에 아래의 연산자를 사용하시면 더 정확한 검색결과를 얻을 수 있습니다.
  • 검색연산자
검색연산자 기능 검색시 예
() 우선순위가 가장 높은 연산자 예1) (나노 (기계 | machine))
공백 두 개의 검색어(식)을 모두 포함하고 있는 문서 검색 예1) (나노 기계)
예2) 나노 장영실
| 두 개의 검색어(식) 중 하나 이상 포함하고 있는 문서 검색 예1) (줄기세포 | 면역)
예2) 줄기세포 | 장영실
! NOT 이후에 있는 검색어가 포함된 문서는 제외 예1) (황금 !백금)
예2) !image
* 검색어의 *란에 0개 이상의 임의의 문자가 포함된 문서 검색 예) semi*
"" 따옴표 내의 구문과 완전히 일치하는 문서만 검색 예) "Transform and Quantization"
쳇봇 이모티콘
ScienceON 챗봇입니다.
궁금한 것은 저에게 물어봐주세요.

논문 상세정보

비정질 실리콘을 이용한 미세 피치 적외선 이미지 센서 제조 및 특성

Fabrication and characterization of fine pitch IR image sensor using a-Si


The microbolometer array sensor with fine pitch pixel array has been implemented to the released amorphous silicon layer supported by two contact pads. For the design of focal plane mirror with geometrical flatness, the simple beam test structures were fabricated and characterized. As the beam length decreased, the effect of beam width on the bending was minimized, Mirror deformation of focal plane in a real pixel showed downward curvature by residual stress of a-Si and Ti layer. The mirror tilting was caused by the mis-align effect of contact pad and confirmed by FEA simulation results. The properties of bolometer have been measured as such that the NETD 145 mK, the TCR -2 %/K, and thermal time constant 1.99 ms.

참고문헌 (7)

  1. Y. Zhao, M. Mao, R. Horowitz, A. Majumdar, J. Varesi, P. Norton, and J. Kitching, "Optomechanical uncooled infrared imaging system design, microfabrication and performance", Journal of MEMS, vol. 11, no. 2, 2002. 
  2. Kazuhiko Hashimoto, Huaping Xu, Tomonori Mukaigawa, Ryuichi Kubo, Hong Zhu, Minoru Noda, and Masanori Okuyama, "Si monolithic microbolometers of ferroelectric BST thin film combined with readout FET for uncooled infrared image sensor", Sensors and Actuators, vol. 88, pp. 10-19, 2001. 
  3. Sabuncuoglu Tezcan, D., Eminoglu, S., and Sevket Akar, O., "A low cost uncooled infrared microbolometer focal plane array using the CMOS n-well layer", Micro Electro Mechanical Systems, 14th IEEE Int MEMS Conference, pp. 566-569, 2001. 
  4. R.A.Wood, "Uncooled thermal imaging with monolithic silicon focal planes", Proc. SPIE 2020, p. 322, 1993. 
  5. E. L. Dereniak and G. D. Boreman, Infrared Detectors and Systems, John Wiley & Sons, New York, 1996. 
  6. Yue Kuo, Thin film Transistors, Kluwer Academic Publishers. 
  7. Stephen D. Senturia, Microsystem Design, Academic press, 2004. 

이 논문을 인용한 문헌 (1)

  1. Han, Chang Suk ; Park, Seung Man ; Kim, Nam-Hwan ; Han, Seungoh 2013. "SPICE-Compatible Modeling of a Microbolometer Package Including Thermoelectric Cooler" Journal of sensor science and technology = 센서학회지, 22(1): 44~48 


원문 PDF 다운로드

  • ScienceON :

원문 URL 링크

원문 PDF 파일 및 링크정보가 존재하지 않을 경우 KISTI DDS 시스템에서 제공하는 원문복사서비스를 사용할 수 있습니다. (원문복사서비스 안내 바로 가기)

상세조회 0건 원문조회 0건

DOI 인용 스타일