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NTIS 바로가기융ㆍ복합기술연구소 논문집 = Journal of institute of convergence technology, v.1 no.2, 2011년, pp.6 - 15
최석문 (삼성전기 중앙연구소) , 박성준 (충주대학교 기계공학과)
This paper reports the design and fabrication of a micro-electro-mechanical-system(MEMS)-based electrostatic angular microactuator for a dual-stage servo. The proposed actuator employs a novel electrode pattern named "skewed electrode array(SEA)" scheme. It is shown that SEA has better linearity tha...
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