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NTIS 바로가기韓國眞空學會誌 = Journal of the Korean Vacuum Society, v.21 no.3, 2012년, pp.136 - 141
박재형 (한국광기술원 광에너지연구센터) , 김대영 (한국광기술원 광에너지연구센터) , 박광훈 (한국광기술원 광에너지연구센터) , 한명수 (한국광기술원 광에너지연구센터) , 김효진 (한국광기술원 광에너지연구센터) , 신재철 (한국광기술원 광에너지연구센터) , 하준석 (전남대학교 신화학소재공학과) , 김광복 (금호전기프론티어연구센터) , 고항주 (한국광기술원 광에너지연구센터)
We report investigation of structural and optical characteristics of
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핵심어 | 질문 | 논문에서 추출한 답변 |
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InXSeY 박막의 물성은 무엇에 민감한가? | 특히 MOCVD (유기금속화학증착법) [1], thermal evaporation (열증착법) [2], chemical reaction (화학반응법) [3] 등의 다양한 제조방법이 연구되고 있고, In2Se3 물질의 구조 [4], 전기 및 광학적 특성 [5,6]에 관해서도 연구되고 있다. 그럼에도 불구하고 InXSeY 박막의 물성은 제조공정, 증발 소스, 물질과 온도 등에 따라 매우 민감하기 때문에 아직까지 InXSeY 박막의 물성을 제어하는데 어려움을 겪고 있다 [7]. InXSeY 박막의 물성제어는 태양전지와 같은 소자의 작동에 큰 영향을 끼침으로 심도 깊은 연구가 반드시 필요하다. | |
판상 소오다 석회 유리는 어떻게 표면 식각 처리되는가? | 기판으로 사용된 판상 소오다 석회 유리(soda lime glass, SLG)는 아세톤, IPA (isopropyl alcohol, 이소프로필 알콜), 탈이온수에 넣고 각각 10분, 10분 그리고 5분간 초음파 세척한 후 질소 가스를 이용하여 건조 시켰다. 기판은 스퍼터의 도입 챔버에 로딩되어 고주파 전력 50 W로 1분간 표면식각 처리된다. 표면 식각 처리된 기판은 DC magnetron sputter (직류 마그네트론 스퍼터)로 이동되어 Mo 박막이 증착된다. | |
박막 형태 In2Se3 제조 방법은? | 최근, III-VI족 화합물 반도체인 In2Se3는 태양전지로의 응용 가능성 때문에 박막형태로 활발히 연구되고 있다. 특히 MOCVD (유기금속화학증착법) [1], thermal evaporation (열증착법) [2], chemical reaction (화학반응법) [3] 등의 다양한 제조방법이 연구되고 있고, In2Se3 물질의 구조 [4], 전기 및 광학적 특성 [5,6]에 관해서도 연구되고 있다. 그럼에도 불구하고 InXSeY 박막의 물성은 제조공정, 증발 소스, 물질과 온도 등에 따라 매우 민감하기 때문에 아직까지 InXSeY 박막의 물성을 제어하는데 어려움을 겪고 있다 [7]. |
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