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NTIS 바로가기한국생산제조시스템학회지 = Journal of the Korean Society of Manufacturing Technology Engineers, v.22 no.4, 2013년, pp.761 - 766
안성우 (Dept. of Mechanical Eng., Korea Polytechnic Univ.) , 정영훈 (Dept. of Mechanical Eng., Korea Polytechnic Univ.) , 송창규 (Nano Convergence and Manufacturing Systems Research Division, KIMM)
A precision linear motion table plays a crucial role in manufacturing systems used in various industries such as machine tools, semiconductors, and nanofabrication. In particular, one of the most typical mechanisms for a linear motion table is to use a ballscrew and LM guides. However, this mechanis...
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핵심어 | 질문 | 논문에서 추출한 답변 |
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정밀 직선 이송 시스템 중 가장 대표적인 장치로 알려진 것은 무엇인가? | 오늘날 직선 이송 시스템은 공작기계 등과 같은 생산 제조설비에서부터 반도체 제조를 위한 공정장비에서의 초정밀 위치결정장치 등의 첨단기술 설비에 이르기까지 다양한 생산시스템에서 가장 중요한 요소로 다뤄지고 있다. 특히, 볼스크류 기반의 이송 시스템은 이러한 정밀 직선 이송 시스템 중 가장 대표적인 장치로 알려져 있다. 그러나 볼스크류 기반의 이송 시스템은 이송운동에 따른 부품간 상대운동에 의해 필연적으로 마찰력에 대한 영향을 가지고 있다. | |
직선 이송 시스템이 중요한 요소로 다뤄지는 분야는 어디인가? | 오늘날 직선 이송 시스템은 공작기계 등과 같은 생산 제조설비에서부터 반도체 제조를 위한 공정장비에서의 초정밀 위치결정장치 등의 첨단기술 설비에 이르기까지 다양한 생산시스템에서 가장 중요한 요소로 다뤄지고 있다. 특히, 볼스크류 기반의 이송 시스템은 이러한 정밀 직선 이송 시스템 중 가장 대표적인 장치로 알려져 있다. | |
볼스크류 기반의 이송 시스템에 영향을 주는 마찰력의 특징은 무엇인가? | 그러나 볼스크류 기반의 이송 시스템은 이송운동에 따른 부품간 상대운동에 의해 필연적으로 마찰력에 대한 영향을 가지고 있다. 이러한 마찰력은 이송 시스템의 주요 이송저항으로 작용하며, 동적 거동에 영향을 미치기 때문에 깊이 있게 고려되는 것이 필요하다[1] . |
Armstrong-Helouvry, B., Dupont, P., Canudas De Wit, C. C., 1994, A Survey of Models, Analysis Tools and Compensation Methods for the Control of Machines with Friction, Automatica, 30:7 1083-1138.
Johnson, K. L., 1987, Contact Mechanics, Cambridge University Press, Cambridge.
Dahl, P., 1968, A Solid Friction Model, TOR-158(3107-18), The Aerospace Corporation, El Segundo(USA)
Padthe, A., Drincic, B., Oh, J., Rizos, D., Fassois, S., Bernstein, D. S., 2008, Duhem Modeling of Friction-induced Hysteresis, IEEE Control Systems Magazine, 28:5 90-107.
Canudas de Wit, C., Olsson, H., Astrom, K. J., Lischinsky, P., 1995, A New Model for Control of Systems with Friction, IEEE Transactions on Automatic Control, 40:3 419-425.
Choi, J. J., Kim, J. S., Han, S. I., 2004, Pre-sliding Friction Control using the Sliding Mode Controller with Hysteresis Friction Compensator, KSME International Journal, 18:10 1755-1762.
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