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NTIS 바로가기한국세라믹학회지 = Journal of the Korean Ceramic Society, v.50 no.5, 2013년, pp.348 - 352
최진삼 (경상대학교 세라믹공학전공) , (나가오카과학기술대학 극한에너지 밀도공학연구센타) , 배원태 (경상대학교 세라믹공학전공)
The evaluation of plasma resistance and the characteristics of yttria ceramics fabricated by calcination yttria as a starting material without dopants under an oxidation atmosphere was investigated. Regardless of the starting materials, as-received, and calcined yttria powder, XRD patterns showed th...
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핵심어 | 질문 | 논문에서 추출한 답변 |
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이트리아는 어떻게 사용되어지는가? | 이트리아는 단위정당 38개의 이트륨과 48개의 산소이온자리를 가지며 2325oC를 기준으로 정방정결정구조에서 육방정계 결정구조구조로 상전이가 일어난다고 알려져 있다.1) 부분안정화 지르코니아와 소결조제로 폭넓게 사용되는 이트리아는 최근 플라즈마에 의해 활성화된 라디칼과 양이온저항성이 Quartz, Al2O3, ZrO2, BN과 SiC 보다 우수해 반도체산업에서 관심의 대상이 되고 있지만 난소결성의 물질이다.2) 그럼에도 불구하고 진공 혹은 수소조건에서 소결한 이트리아가 이론밀도에 근접한다는 보고이래로 공침법을 이용한 나노입자합성 및 전구체와 첨가물 영향에 관한연구가 진행되어져왔다. | |
이트리아의 특징은 무엇인가? | 이트리아는 단위정당 38개의 이트륨과 48개의 산소이온자리를 가지며 2325oC를 기준으로 정방정결정구조에서 육방정계 결정구조구조로 상전이가 일어난다고 알려져 있다.1) 부분안정화 지르코니아와 소결조제로 폭넓게 사용되는 이트리아는 최근 플라즈마에 의해 활성화된 라디칼과 양이온저항성이 Quartz, Al2O3, ZrO2, BN과 SiC 보다 우수해 반도체산업에서 관심의 대상이 되고 있지만 난소결성의 물질이다. | |
이트리아의 첨가물은 무엇에 따라 입계이동에 영향을 미치는가? | 2) 그럼에도 불구하고 진공 혹은 수소조건에서 소결한 이트리아가 이론밀도에 근접한다는 보고이래로 공침법을 이용한 나노입자합성 및 전구체와 첨가물 영향에 관한연구가 진행되어져왔다.3-5) 첨가물은 전하가를 보상하는 산소빈자리에 위치하여 양이온의 확산도, 용질이동, 그리고 첨가제-결함상호작용에 따라 입계이동에 영향을 미치는 것으로 보고되고 있다.6,7) 이론밀도에 근접하는 이트리아 소결체를 보고한 Huang등8)의 결과역시 첨가제가 포함된 분말을 상압에서 2단계 소결한 후 최종적으로 진공에서 3단계로 소결하는 방법이다. |
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