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NTIS 바로가기열처리공학회지 = Journal of the Korean society for heat treatment, v.28 no.3, 2015년, pp.134 - 138
김소영 (울산대학교 첨단소재공학부) , 문현주 (울산대학교 첨단소재공학부) , 김대일 (울산대학교 첨단소재공학부)
Ag intermediated
핵심어 | 질문 | 논문에서 추출한 답변 |
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적외선 흡수법 중 효과적인 방법은 무엇인가? | 일반적으로 적외선 방사율은 흡수율과 관계되고, 특정파장에서 흡수율, 반사율, 투과율의 합이 1이 된다는 점을 활용하면 방사율을 낮추려는 것은 흡수율, 반사율, 투과율의 최적화가 요구된다. 이러한 저방사 유리의 적외선 차단에는 흡수법과 반사법이 보고되었으며[1], 적외선 흡수법의 경우에는 열과 자외선에 의하여 차단특성이 쉽게 저하되기 때문에 ZnO, TiO2 등의 유전체 박막 또는 Au, Ag 등의 귀금속 박막으로 반사율(Reflectance)을 높임으로써 적외선 투과율이 저감되는 Low-E 유리가 효과적인 것으로 보고되었다[2]. | |
열처리 온도에 비례하여 박막의 전하밀도가 증가한 이유는? | 이는 Fig. 2의 XRD 분석결과와 같이 TiO2 박막의 결정립이 성장하면서 박막의 결정립 계에 포획되었던 전자가 방출되면서 전하농도가 증가한 것으로 사료된다. | |
유전체 단일박막의 단점은 무엇인가? | 그러나, 유전체 단일박막은 가시광영역에서 빛 간섭현상이 발생하며, 귀금속 박막은 습기와 표면산화로 인한 전기적, 광학적 특성저하가 단점이기 때문에 유전체와 귀금속 박막이 적층형태로 제작된 저방사 박막에 대한 연구가 최근 활발히 진행되고 있다[3, 4]. 따라서 본 연구에서는 선행 연구된 15 nm 두께의 층간 Ag박막을 갖는 TiO2/Ag/TiO2 박막[5]의 근적외선 반사특성을 최적화하기 위하여, 유리기판에 RF와 DC Magnetron Sputter를 이용하여 적층박막을 증착하고 진공열처리를 실시하였다. |
C. Schaefer and J. Szczyrbowski : Surf. Coat. Technol., 93 (1997) 37.
S. Park, K. S. Lee and A. S. Reddy : Solid State Sci., 13 (2011) 1984.
유호탁 : 열적안정성이 우수한 저방사 $TiO_2/Si/Ag(Cr)/TiN/Glass$ 다층박막의 전기광학적 특성연구, 공주대학교 석사학위논문 (2014).
R. C. Ross : Solar Energy Mater., 21 (1990) 25.
H. Tang, K. Prasad and F. Levy : J. Appl. Phys., 75 (1994) 2042.
홍현주 : RF 마그네트론 스퍼터에 의한 $TiO_2$ 박막의 특성연구, 울산대학교 석사학위논문 (2007).
이학민 : Co-sputter로 제작된 IGZO 박막특성과 진공열처리에 따른 특성변화, 울산대학교 석사학위논문 (2013).
G. B. Smith, G. A. Niklasson and C. G. Granqvist : J. Appl. Phys., 59 (1986) 581.
J. R. DeVore : J. Opt. Soc. Am., 41 (1951) 419.
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