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MEMS 압력센서의 기술 및 산업동향

MEMS Pressure Sensor Technology and Industry Trends

전자통신동향분석 = Electronics and telecommunications trends, v.30 no.6, 2015년, pp.21 - 30  

제창한 (나노융합센서연구실) ,  최창억 (나노융합센서연구실) ,  이성규 (나노융합센서연구실) ,  양우석 (나노융합소자연구부)

초록
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압력센서란 두 물체 간의 상호 작용하는 힘의 크기를 나타내는 물리적 양을 측정하는 디바이스로서 힘의 전달 크기, 힘의 방향 등을 측정하는 데 매우 광범위하게 사용되고 있는 센서이다. 사용하는 분야는 의료, 자동차, 항공, 공업계측, 가전, 환경제어분야 등의 전반적 산업제품과 산업시설에 응용되고 있으며, 측정원리는 힘의 변화에 따른 재료의 변위, 변형, 진동수, 변화, 열전도율 변화 등을 이용하는 것으로 종전의 기계식 감지방법에서 현재는 센서장치의 소형화를 위하여 반도체소자 제작기술과 Micro Electro Mechanical System(MEMS)기술을 이용하는 초소형, 저전력형 센서개발로 계속 발전하고 있다. 본고에서 멤스(MEMS) 압력센서의 최근 제품 기술 개발과 시장 및 산업동향을 알아보고 향후 더욱더 확장될 압력센서제품 기술의 기초 정보를 제공하고자 한다.

AI 본문요약
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문제 정의

  • 또한, 멤스 압력센서의 산업동향 및 향후 시장 전망을 살펴보겠다.
  • 본고에서는 먼저 현재 큰 시장을 형성하고 있는 MEMS 압력센서의 감지기술 및 제작기술을 소개하고, 주요 업체의 기술개발 동향과 한국전자통신연구원의 관련 연구성과를 포함한 최신 연구동향을 소개하도록 한다. 또한, 멤스 압력센서의 산업동향 및 향후 시장 전망을 살펴보겠다.
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