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NTIS 바로가기Applied science and convergence technology, v.26 no.6, 2017년, pp.189 - 194
Joo, Junghoon (Department of Materials Science and Engineering, Kunsan National University)
Effects of gas injection scheme and rf driving current configuration in a dual turn inductively coupled plasma (ICP) system were analyzed by 3D numerical simulation using CFD-ACE+. Injected gases from a tunable gas nozzle system (TGN) having 12 horizontal and 12 vertical nozzles showed different pat...
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D. Seo and S. Chun, J. Kor. Inst. Surf. Eng., Vol. 45, No. 3, 121 (2012).
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