$\require{mediawiki-texvc}$

연합인증

연합인증 가입 기관의 연구자들은 소속기관의 인증정보(ID와 암호)를 이용해 다른 대학, 연구기관, 서비스 공급자의 다양한 온라인 자원과 연구 데이터를 이용할 수 있습니다.

이는 여행자가 자국에서 발행 받은 여권으로 세계 각국을 자유롭게 여행할 수 있는 것과 같습니다.

연합인증으로 이용이 가능한 서비스는 NTIS, DataON, Edison, Kafe, Webinar 등이 있습니다.

한번의 인증절차만으로 연합인증 가입 서비스에 추가 로그인 없이 이용이 가능합니다.

다만, 연합인증을 위해서는 최초 1회만 인증 절차가 필요합니다. (회원이 아닐 경우 회원 가입이 필요합니다.)

연합인증 절차는 다음과 같습니다.

최초이용시에는
ScienceON에 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 로그인 (본인 확인 또는 회원가입) → 서비스 이용

그 이후에는
ScienceON 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 서비스 이용

연합인증을 활용하시면 KISTI가 제공하는 다양한 서비스를 편리하게 이용하실 수 있습니다.

직선 이송축의 3자유도 오차 보정을 위한 미세 구동 스테이지 개발 및 성능 평가
Development and Performance Evaluation of Fine Stage for 3-DOF Error Compensation of a Linear Axis 원문보기

한국정밀공학회지 = Journal of the Korean Society for Precision Engineering, v.34 no.1, 2017년, pp.53 - 58  

이재창 (경북대학교 기계공학부) ,  이민재 (경북대학교 기계공학부) ,  양승한 (경북대학교 기계공학부)

Abstract AI-Helper 아이콘AI-Helper

A fine stage is developed for the 3-DOF error compensation of a linear axis in order to improve the positioning accuracy. This stage is designed as a planar parallel mechanism, and the joints are based on a flexure hinge to achieve ultra-precise positioning. Also, the effect of Abbe's offsets betwee...

주제어

AI 본문요약
AI-Helper 아이콘 AI-Helper

* AI 자동 식별 결과로 적합하지 않은 문장이 있을 수 있으니, 이용에 유의하시기 바랍니다.

문제 정의

  • 따라서, 본 연구에서는 단일 직선 이송축을 대상으로 위치 정확도 향상을 위해 3자유도 오차(선형 변위 오차, 수평 진직도 오차, 요 오차)의 측정 및 보정을 위한 미세 구동 스테이지를 개발한다. 레이저 간섭계를 이용하여 측정된 선형 변위 오차는 오프라인 보정 방법을 이용하고 정전용량 센서를 이용하여 이송축의 2자유도 오차(수평 진직도 오차, 요 오차)를 실시간 측정 및 보정한다.
  • 본 연구에서는 직선 이송축의 초정밀 위치 구현을 위해 3자유도 오차 보정을 위한 평면형 미세 구동 스테이지를 제안한다. 위치 정확도 향상을 위해 유연 힌지 기반의 조인트가 활용된다.
본문요약 정보가 도움이 되었나요?

질의응답

핵심어 질문 논문에서 추출한 답변
정밀 가공 기술이 주목받는 이유는? IT, 광학, 의료 등의 첨단 산업에서 서브 마이크로 미터 수준의 소형 부품 수요 증가로 인해 정밀 가공 기술이 주목 받고 있다.1-3 정밀 가공 기술은 복잡한 형상을 가진 소형 부품을 제조할 수 있는 장점을 가진다.
정밀 가공 기술의 장점은 무엇인가? IT, 광학, 의료 등의 첨단 산업에서 서브 마이크로 미터 수준의 소형 부품 수요 증가로 인해 정밀 가공 기술이 주목 받고 있다.1-3 정밀 가공 기술은 복잡한 형상을 가진 소형 부품을 제조할 수 있는 장점을 가진다.4 이러한 부품의 형상 정확도는 정밀 기계의 공구와 공작물간의 위치 정확도에 의해 직접적인 영향을 받는다.
위치 정확도에 악영향을 끼치는 요소 중 준정적오차에 대해 설명하라 위치 정확도에 악영향을 끼치는 주요 오차로는 준정적오차와 동적 오차 등이 있다. 준정적 오차는 기계의 구성 부품들의 불완전에 의해 야기된 기하학적 오차와 열원에 의한 구조의 열적 팽창 및 수축에 의한 오차로 구분한다. 동적 오차는 구동축의 가속력, 공작기계의 진동 그리고 제어기 오차 등에 의해 발생한다.
질의응답 정보가 도움이 되었나요?

참고문헌 (15)

  1. Luo, X., Cheng, K., Webb, D., and Wardle, F., "Design of Ultraprecision Machine Tools with Applications to Manufacture of Miniature and Micro Components," Journal of Materials Processing Technology, Vol. 167, No. 2, pp. 515-528, 2005. 

  2. Zhang, S., To, S., Wang, S., and Zhu, Z., "A Review of Surface Roughness Generation in Ultra-Precision Machining," International Journal of Machine Tools and Manufacture, Vol. 91, pp. 76-95, 2015. 

  3. Ehmann, K. F., Bourell, D., Culpepper, M. L., Hodgson, T. J., Kurfess, T. R., et al., "International Assessment of Research and Development in Micromanufacturing," DTIC Document, 2005. 

  4. Filiz, S., Conley, C. M., Wasserman, M. B., and Ozdoganlar, O. B., "An Experimental Investigation of Micro-Machinability of Copper 101 Using Tungsten Carbide Micro-Endmills," International Journal of Machine Tools and Manufacture, Vol. 47, No. 7, pp. 1088-1100, 2007. 

  5. Ramesh, R., Mannan, M. A., and Poo, A. N., "Error Compensation in Machine Tools - A Review Part I: Geometric, Cutting-Force, Induced and Fixture Dependents Errors," International Journal of Machine Tools and Manufacture, Vol. 40, No. 9, pp. 1235-1256, 2000. 

  6. Schwenke, H., Knapp, W., Haitjema, H., Weckenmann, A., Schmitt, R., et al., "Geometric Error Measurement and Compensation of Machines-An Update," CIRP Annals-Manufacturing Technology, Vol. 57, No. 2, pp. 660-675, 2008. 

  7. Lee, D.-M., Zhu, Z., Lee, K.-I., and Yang, S.-H., "Identification and Measurement of Geometric Errors for a Five-Axis Machine Tool with a Tilting Head Using a Double Ball-Bar," Int. J. Precis. Eng. Manuf., Vol. 12, No. 2, pp. 337-343, 2011. 

  8. Fan, K.-C., Chen, M.-J., and Huang, W., “A Six-Degree-of-Freedom Measurement System for the Motion Accuracy of Linear Stages,” International Journal of Machine Tools and Manufacture, Vol. 38, No. 3, pp. 155-164, 1998. 

  9. Lee, K.-I., Lee, J.-C., and Yang, S.-H., "The Optimal Design of a Measurement System to Measure the Geometric Errors of Linear Axes," The International Journal of Advanced Manufacturing Technology, Vol. 66, Nos. 1-4, pp. 141-149, 2013. 

  10. Lee, K.-I., Lee, J.-C., and Yang, S.-H., "Performance Evaluation of Five-DOF Motion in Ultra-Precision Linear Stage," Int. J. Precis. Eng. Manuf., Vol. 15, No. 1, pp. 129-134, 2014. 

  11. Gao, W., Arai, Y., Shibuya, A., Kiyono, S., and Park, C. H., “Measurement of Multi-Degree-of-Freedom Error Motions of a Precision Linear Air-Bearing Stage,” Precision Engineering, Vol. 30, No. 1, pp. 96-103, 2006. 

  12. Gao, W., Saito, Y., Muto, H., Arai, Y., and Shimizu, Y., “A Three-Axis Autocollimator for Detection of Angular Error Motions of a Precision Stage,” CIRP Annals-Manufacturing Technology, Vol. 60, No. 1, pp. 515-518, 2011. 

  13. Lee, J. H., Liu, Y., and Yang, S.-H., “Accuracy Improvement of Miniaturized Machine Tool: Geometric Error Modeling and Compensation,” International Journal of Machine Tools and Manufacture, Vol. 46, No. 12, pp. 1508-1516, 2006. 

  14. Wilkening, G. and Koenders, L., "Nanoscale Calibration Standards and Methods," Wiley-VCH, 2005. 

  15. Steinmetz, C., "Sub-Micron Position Measurement and Control on Precision Machine Tools with Laser Interferometry," Precision Engineering, Vol. 12, No. 1, pp. 12-24, 1990. 

저자의 다른 논문 :

LOADING...
섹션별 컨텐츠 바로가기

AI-Helper ※ AI-Helper는 오픈소스 모델을 사용합니다.

AI-Helper 아이콘
AI-Helper
안녕하세요, AI-Helper입니다. 좌측 "선택된 텍스트"에서 텍스트를 선택하여 요약, 번역, 용어설명을 실행하세요.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.

선택된 텍스트

맨위로