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AI 본문요약
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문제 정의

  • 본고에서는 WBG 차세대 전력반도체기술 중 비교적 높은 전력을 수용하며 초고속 스위칭의 장점을 갖는 GaN 기반 전력반도체의 고효율 전력변환 관련 기술동향을 소개함과 더불어 본 연구진의 최근 기술개발 내용에 대하여 소개한다.
  • 현대 전력변환모듈에 요구되는 소형화 및 고전력화 추세에서 빠르고 안정적인 스위칭소자 기술은 기존 전력소자가 극복해야 할 핵심기술이며 본고에서는 기생 인덕턴스 성분 최소화의 궁극적 방안인 모노리식 집적화 기술에 대해 소개하였다. 타 물질기반 전력소자에 비해 빠른 스위칭 속도에 더욱 강점이 있는 GaN기반 차세대 전력소자의 모노리식 집적화 기술은 모듈의 안정적인 동작과 더 높은 효율을 달성을 위한 효과적인 방안이며 응용분야 목적에 따라 다양한 모노리식 집적화 연구가 진행되어야 할 것이다.
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질의응답

핵심어 질문 논문에서 추출한 답변
전력반도체소자란? 전력반도체소자(power semiconductor device)는 전력의 변환 또는 제어에 사용되는 스위칭 반도체로서 자기부상열차, 태양광 인버터, 전기자동차뿐만 아니라 모든 전기기기의 효율적 전력소모를 관리하며 안정성과 신뢰성을 좌우하는 핵심부품으로서 넓은 분야에서 활용되어 왔다. 이러한 전력반도체 소자기술은 가장 보편적 반도체 물질인 규소(silicon, Si) 기반의 전력반도체를 바탕으로 1960년대부터 급격한 발전을 이뤄왔으나 기존 전력반도체 시장을 견인해온 Si 기반 전력반도체 기술은 Si 물질이 본질적으로 좁은 밴드 갭(band gap) 및 낮은 전자이동도(electron mobility)를 가짐으로 인해 이론적으로 달성 가능한 전력반도체의 핵심 성능지수 인 온-저항, 항복전압, 그리고 동작 가능 온도 등의 한계가 존재하며, super junction MOSFET, insulated gate bipolar mode transistor (IGBT) 등의 소자 구조적 혁신기술을 통해 이론적 한계를 어느 정도 극복한 성능을 가진 전력반도체가 출시되었으나 현대 전력전자 및 무선통신시스템 등에서 요구되는 핵심기술은 현재의 Si 기술로는 해결할 수 없는 고전력화, 고주파수화, 고온동작화 되고 있는 실정이다.
Si 기반 전력반도체의 한계점은? 전력반도체소자(power semiconductor device)는 전력의 변환 또는 제어에 사용되는 스위칭 반도체로서 자기부상열차, 태양광 인버터, 전기자동차뿐만 아니라 모든 전기기기의 효율적 전력소모를 관리하며 안정성과 신뢰성을 좌우하는 핵심부품으로서 넓은 분야에서 활용되어 왔다. 이러한 전력반도체 소자기술은 가장 보편적 반도체 물질인 규소(silicon, Si) 기반의 전력반도체를 바탕으로 1960년대부터 급격한 발전을 이뤄왔으나 기존 전력반도체 시장을 견인해온 Si 기반 전력반도체 기술은 Si 물질이 본질적으로 좁은 밴드 갭(band gap) 및 낮은 전자이동도(electron mobility)를 가짐으로 인해 이론적으로 달성 가능한 전력반도체의 핵심 성능지수 인 온-저항, 항복전압, 그리고 동작 가능 온도 등의 한계가 존재하며, super junction MOSFET, insulated gate bipolar mode transistor (IGBT) 등의 소자 구조적 혁신기술을 통해 이론적 한계를 어느 정도 극복한 성능을 가진 전력반도체가 출시되었으나 현대 전력전자 및 무선통신시스템 등에서 요구되는 핵심기술은 현재의 Si 기술로는 해결할 수 없는 고전력화, 고주파수화, 고온동작화 되고 있는 실정이다.
열 발생이 심화되는 문제를 해결할 수 있는 전력반도체 소자는? 일반적으로 스위칭속도가 빠를수록 전력모듈을 구현하는데 필요한 커패시터와 인덕터 등의 수동소자 크기는 감소하는 반면 스위칭 손실은 증가하여 열 발생이 심화되는 문제를 수반한다. 최대 150℃ 동작온도범위를 갖는 Si기반 전력반도체 에 비해 최대 400℃까지의 고온동작범위를 갖는 GaN 전력소자는 모듈 대부분의 무게를 차지하는 heat sink 또한 획기적으로 감소시켜 모듈의 전반적인 소형화 및 경량화가 가능하다 [1,2]. 이러한 이유로 인해 WBG기반전력소자를 사용하여 전력변환 모듈을 제작할 경우 부피 및 중량을 최대 70%까지 감량 가능한 것으로 보고되고 있다.
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참고문헌 (24)

  1. O. Goualard, N. Videau, TB. Doan, T. Lebey, V. Bley, and T. Meynard, "Integrated Screen Printed Capacitors in a GaN DC-DC Converter Allowing Double Side Cooling", In Proceedings of the IEEE 5th Electronics System-integration Technology Conference, Helsinki, Finland, Sep 16-18, pp. 1-5, (2014). 

  2. Z. Liu, X. Huang, M. Mu, Y. Yang, FC. Lee, and Q. Li, "Design and Evaluation of GaN-Based Dual-Phase Interleaved MHz Critical Mode PFC Converter", In Proceedings of IEEE Energy Conversion Congress and Exposition, Pittsburgh, USA, Sep 14-18, pp. 611-616, (2014). 

  3. J. W. Johnson, A. P. Zhang, W. B. Luo, F. Ren, S. J. Pearton, S. S. Park, Y. J. Park, and J. I. Chyi, "Breakdown voltage and reverse recovery characteristics of free-standing GaN Schottky rectifiers." IEEE Transactions on Electron devices 49.1 32-36 (2002). 

  4. Z. Zhang, J. Fu, Y. Liu, and P. C. Sen "Switching Loss Analysis Considering Parasit ic Loop Inductance with Current Source Drivers for Buck Converters", In Proceedings of Applied Power Electronics Conference and Exposition (APEC), CA, USA, Feb. 21-25, pp. 1482-86 (2010). 

  5. Z. Chen, D. Boroyevich, and R. Burgos, "Experimental Parametric Study of the Parasitic Inductance Influence on MOSFET Switching Characteristics", In proceedings of the 2010 International Power Electronics Conference, Sapporo, Japan, Jun 21-24, pp. 164-169 (2010). 

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  7. C. Wonsuk and S. Dongkook, "Did You Make Layout Adjustments to Use Super-Junction MOSFETs", On semiconducter, (2014). [DOI: http://blog.fairchildsemi.com/2014/make-layout-adjustments-use-super-junctionmosfets-part-1/#.WRF1PvnyiUl] 

  8. A. Sawle, M. Standing, T. Sammon, and A. Woodworth, "DirectFET: a proprietary new source mounted power package for board mounted power", In Proceedings of the 43rd Power Conversion and Intelligent Motion Conference (PCIM'01), (2001). 

  9. Y. Liu, "Trends of power semiconductor wafer level packaging" Microelectronics Reliability, 50, 514-521 (2010). 

  10. J. Strydom, M. de Rooij, and A. Lidow, "Gallium nitride transistor packaging advances and thermal modeling", EDN China, 1-13 (2012). 

  11. GS66508T, "Preliminary datasheet gan systems," Rev 151230 

  12. H. A. Mantooth, M. D. Glover, and P. Shepherd, "Wide Bandgap Technologies and Their Implications on Miniaturizing Power Electronic Systems," IEEE Journal of Emerging and Selected Topics in Power Electron., 2, 374-385 (2014). 

  13. J. Wang, Z. Shen, C. DiMarino, R. Burgos, and D. Boroyevich, "Gate driver design for 1.7 kV SiC MOSFET module with Rogowski current sensor for shortcircuit protection", In Applied Power Electronics Conference and Exposition (APEC), pp. 516-523 (2016). 

  14. AN-2296, SM72295: Highly Integrated Gate Driver for 800VA to 3KVA Inverter (2013), 

  15. Application Note, External Booster for Driver IC Revision AN2013-10 Revision 1.6, (2014), 

  16. S. W Han, S. H. Park, H. S. Kim, M. G. Jo, and H. Y. Cha, "Normally-off AlGaN/GaN-on-Si MOS-HFET with a Monolithically Integrated Single Stage Inverter as a Gate Driver",Electron Lett, 53, 198-199 (2017). 

  17. K. S. Boutros et al., "Normally-off 5 A/1100 V GaN-on-silicon device for high voltage applications," in IEDM Tech. Dig., Dec. pp. 1-3 (2009). 

  18. Y. Uemoto et al., "Gate injection transistor (GIT)-A normally-off AlGaN/GaN power transistor using conductivity modulation," IEEE Trans. Electron Devices, 54, 3393-3399, (2007). 

  19. W. Chen et al., "High-performance AlGaN/GaN lateral field-effect rectifiers compatible with high electron mobility transistors," Appl. Phys. Lett., 92, 253501, (2008). 

  20. B.-R. Park et al., "High-quality ICPCVD SiO2 for normally off AlGaN/GaN-on-Si recessed MOSHFETs," IEEE Electron Device Lett., 34, 354-356, (2013). 

  21. S. W. Han et al., "Dynamic on-resistance of normally-off recessed AlGaN/GaN-on-Si Metal-oxide- semiconductor heterojunction field- effect transistor," Appl. Phys. Exp., 7, 111002, (2014). 

  22. X. Huang et al., "Evaluation and application of 600 V GaN HEMT in cascode structure," in Proc. 28th Annu. IEEE Appl. Power Electron. Conf. Expo. (APEC), Mar. pp. 1279-1286. (2013). 

  23. W. Zhang et al., "Evaluation of 600 V cascode GaN HEMT in device characterization and all-GaN-based LLC resonant converter," in Proc. IEEE Energy Convers. Congr. Expo., pp. 3571-3578. (2013). 

  24. S. W. Han, S. H. Park, J. G. Lee, J. Lim, and H. Y. Cha, "AlGaN/GaN Metal-Oxide- Semiconductor Heterojunct ion Field-Ef fect Transistor Integrated With Clamp Circuit to Enable Normally-Off Operation", IEEE Electron Device Letters, 36, 540-542 (2015). 

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