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Selective Laser Direct Patterning of Indium Tin Oxide on Transparent Oxide Semiconductor Thin Films

반도체디스플레이기술학회지 = Journal of the semiconductor & display technology, v.18 no.4, 2019년, pp.6 - 11  

Lee, Haechang (Department of Electronics Engineering, Gachon University) ,  Zhao, Zhenqian (Department of Electronics Engineering, Gachon University) ,  Kwon, Sang Jik (Department of Electronics Engineering, Gachon University) ,  Cho, Eou Sik (Department of Electronics Engineering, Gachon University)

Abstract AI-Helper 아이콘AI-Helper

For a wider application of laser direct patterning, selective laser ablation of indium tin oxide (ITO) film on transparent oxide semiconductor (TOS) thin film was carried out using a diode-pumped Q-switched Nd:YVO4 laser at a wavelength of 1064 nm. In case of the laser ablation of ITO on indium gall...

주제어

참고문헌 (12)

  1. Ku. S., Schoepe. G., Pieters. B. E., Ye. Q., and Rau. U., "Direct ablation of ZnO with UV and IR laser for thin film solar modules," Journal of Optoelectronics and Adv anced Materials, Vol. 12, pp. 616-620, 2010. 

  2. Takai. M., Bollmann. D., and Haberger. K., "Maskless patterning of indium tin oxide layer for flat panel displays by diode-pumped Nd:YLF laser irradiation," Applied Physics Letters, Vol. 64, pp. 2560-2562, 1994. 

  3. Chen. M. F., Chen. Y. P., Hsiao. W. T., and Gu Z. P., "Laser direct write patterning technique of indium tin oxide film," Thin Solid Films, Vol. 515, pp. 8515-8518, 2007. 

  4. Li. Z. H., Cho. E. S., and Kwon. S. J., "A new laser direct etching method of indium tin oxide electrode for application to alternative current plasma display panel," Applied Surface Science. Vol. 255, pp. 9843-9846, 2009. 

  5. Chen. M. F., Hsiao. W. T., Ho. Y. S., Tseng. S. F., and Chen. Y. P., "Laser patterning with beam shaping on indium tin oxide thin films of glass/plastic substrate," Thin Solid Films, Vol. 518, pp. 1072-1078, 2009. 

  6. Ryu. H., Lee. D. H., Kwon. S. J., and Cho E. S., "Effect of Nd:YVO4 Laser Beam Direction on Direct Patterning of Indium Tin Oxide Film," Journal of the Semiconductor & Display Technology, Vol. 18, pp. 72-76, 2019. 

  7. Kim. K. H., Kwon. S. J., Mok. H. S., and Tak. T. O., "Laser direct patterning of indium tin oxide layer for plasma display panel bus electrode," Japanese Journal of Applied Physics Vol. 46, pp. 4282-4285, 2007. 

  8. Li. Z. H., Cho. E. S., and Kwon. S. J., "Laser direct patterning of the T-shaped ITO electrode for highefficiency alternative current plasma display panels," Applied Surface Science. Vol. 257, pp. 776-780, 2010. 

  9. Kim. K. H., Kwon. S. J., and Tak. T. O., "A Study on Removal of Shoulders at Laser Ablated Indium Tin Oxide Film Edge," Japanese Journal of Applied Physics Vol. 47, pp. 197-201, 2008. 

  10. Speight. J. G., Lange's Handbook of Chemistry, McGraw-Hill, New York, 2005, pp. 1.16-1.63. 

  11. Kim. H., Horwitz. J. S., Kushto. Kafafi. Z. H., and Chrisey. D. B., "Indium tin oxide thin films grown on flexible plastic substrates by pulsed-laser deposition for organic light-emitting diodes," Applied Physics Letters, Vol. 79, pp. 284-286, 2001. 

  12. Ozen. I., Gulgun. M. A., Ozcan. M., "Self-induced Crystallinity in RF Magnetron Sputtered ZnO Thin Films," Key Engineering Materials, Vol. 264-268, pp. 1225-1228, 2004. 

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