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NTIS 바로가기세라미스트 = Ceramist, v.22 no.4, 2019년, pp.429 - 451
김형준 (한국세라믹기술원 엔지니어링세라믹센터)
Quartz glass is a key material for making semiconductor process components because of its purity, low thermal expansion, high UV transmittance and relatively low cost. Domestic quartz glass has a market worth about 500 billion won in 2018, and the market power of Japanese materials is very high. Qua...
핵심어 | 질문 | 논문에서 추출한 답변 |
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고집적 반도체 제조를 위한 국내 기업의 계획은 어떻게 되는가? | 반도체 공정에서는 고집적 반도체(1Ynm이하) 제조를 위한 고 순도 고신뢰성 합성 석영유리를 요구하고 있다. 삼성전자는 2018년 전체 60%이상을 18nm 공정을 주력으로 하였고 2019년 1Ynm 비중확대하고 있다. 하이닉스는1Xnm 공정을 2018년 하반기에 본격적으로 양산 적용하고 2019년 주력기술화 하고 있는 것으로 알려져 있다. 마이크론의 경우 2018년 1Xnm 공정 비중이 약 40%였으며,2019년 1Ynm 공급 시작예상으로 알려져 있다(Fig. | |
석영유리란 무엇인가? | 세라믹을 전공한 사람이라면 하나는 결정성 광물이고 하나는 비정질 유리인 것으로 구조에서 특성까지 모두 다르다는 것을 알 것이다. 석영유리는 SiO2로만 이루어진 유리로서, 매우 낮은 열팽창계수(0.5 x 10-6/℃), 높은 자외선 투과율과 화학적 내구성 등으로 반도체 공정에서는 필수적인 소재이다. | |
10nm 이하 공정으로 바뀌며 공정상에서 새롭게 요구되는 사항은? | 위에서 언급한 바와 같이 석영유리를 노광공정에 사용하는 이유는 지금까지는 우수한 자외선 투과율과 낮은 열팽창계수였다. 그러나 10nm 이하 공정으로 바뀌면서 요구되는 노광방식은 반사형으로 바뀌었고 요구하는 물성은 열팽창계수와 표면 연마 상태가 더 중요하게 되었다. 반도체 공정에서 이러한 석영유리에 대한 요구 물성에 대한 변화는 반도체 엔지니어 뿐 아니라 세라미스트들도 고민해 볼 사안이다. |
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오픈액세스 학술지에 출판된 논문
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