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NTIS 바로가기Applied surface science, v.167 no.1/2, 2000년, pp.59 - 68
AbstractEnergy-filtered electron diffraction (EFED), X-ray diffraction (XRD), and transmission electron microscopy (TEM) have been used to investigate the structural properties of amorphous and crystallized W1−xNx (0.12≤x≤0.35) thin films prepared by reactive magnetron sputterin...
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