[논문]Optical transmission losses in polycrystalline silicon strip waveguides: Effects of waveguide dimensions, thermal treatment, hydrogen passivation, and wavelength

Liao, Ling; Lim, Desmond R.; Agarwal, Anuradha M.; Duan, Xiaoman; Lee, Kevin K.; Kimerling, Lionel C.

doi:10.1007/s11664-000-0122-4

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[해외논문] Optical transmission losses in polycrystalline silicon strip waveguides: Effects of waveguide dimensions, thermal treatment, hydrogen passivation, and wavelength

Journal of electronic materials, v.29 no.12, 2000년, pp.1380 - 1386

Liao, Ling , Lim, Desmond R. , Agarwal, Anuradha M. , Duan, Xiaoman , Lee, Kevin K. , Kimerling, Lionel C.

초록이 없습니다.

참고문헌 (11)

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L.C. Kimerling 486 1994 Erbium-Doped Silicon for Integrated Optical Interconnects in Semiconductor Silicon L.C. Kimerling, D.M. Koker, B. Zheng, F.Y. Ren, and J. Michel, Erbium-Doped Silicon for Integrated Optical Interconnects in Semiconductor Silicon, ed. H.R. Huff, W. Bergholz, and K. Sumino (Pennington, NJ: The Electrochem. Soc., 1994), p. 486.
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Appl. Phys. Lett. D. Tsoukalas 68 1549 1996 10.1063/1.115695 D. Tsoukalas and D. Kouvatsos. Appl. Phys. Lett. 68, 1549 (1996).

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IEEE Elec. Dev. Lett. J.D. Bernstein 16 421 1995 10.1109/55.464804 J.D. Bernstein, S. Qin, C. Chan, and T.-J. King, IEEE Elec. Dev. Lett. 16, 421 (October 1995).

상세보기
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L.M. Giovane, “Strain-Balanced Silicon-Germanium Materials for Near IR Photodetection in Silicon-Based Optical Interconnects” (Ph.D. thesis, MIT, 1998).

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