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A One-Dimensional Hybrid Simulation of DC/RF Combined Driven Capacitive Plasma
Plasma science & technology, v.14 no.1, 2012년, pp.32 - 36
Abstract
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We developed a one-dimensional hybrid model to simulate the DC/RF combined driven capacitively coupled plasma for argon discharges. The numerical results are used to analyze the influence of the DC source on the plasma density distribution, ion energy distributions (IEDs) and ion angle distributions...
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- [본원] 대전광역시 유성구 대학로 245 한국과학기술정보연구원
- [분원] 서울시 동대문구 회기로 66 한국과학기술정보연구원
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