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논문 상세정보

레이저 어블레이션법으로 제작될 (Ba, Sr)TiO $_3$ 박막의 구조 및 유전특성에 관한 연구

A Study on Structural and Dielectric Properties of the (Ba,Sr)TiO $_3$ Thin Films Prepared by Laser Ablation

Abstract

(Ba$_{0.6}$Sr$_{0.4}$)TiO$_3$(BST) thin films were fabricated with different deposition temperature and oxygen pressure by Pulsed Laser Deposition(PLD). Energy Dispersive Spectroscopy(EDS) proved that BST thin films prepared by PLD have almost the same stoichiometric composition as the BST target materials. This BST thin films were fully crystallized at $650^{\circ}C$, 300mTorr oxygen pressure and showed a maximum dielectric constant value of $\varepsilon$$_{t}$=684 and dielectric loss was 0.01 at 75$0^{\circ}C$, 300mTorr oxygen pressure.ssure.

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