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레이저 어블레이션법으로 제작될 (Ba, Sr)TiO $_3$ 박막의 구조 및 유전특성에 관한 연구

A Study on Structural and Dielectric Properties of the (Ba,Sr)TiO $_3$ Thin Films Prepared by Laser Ablation

한국전기전자재료학회 1999년도 춘계학술대회 논문집, 1999 May 01, 1999년, pp.122 - 125  

주학림 (연세대학교 전기공학과) ,  김성구 (연세대학교 전기공학과) ,  장낙원 (연세대학교 전기공학과) ,  마석범 (용인송담대학 전기설비과) ,  백동수 (한국과학기술원 박막기술연구센터)

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(Ba$_{0.6}$Sr$_{0.4}$)TiO$_3$(BST) thin films were fabricated with different deposition temperature and oxygen pressure by Pulsed Laser Deposition(PLD). Energy Dispersive Spectroscopy(EDS) proved that BST thin films prepared by PLD have almost the same stoichiometric...

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