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NTIS 바로가기한국전기전자재료학회 1999년도 춘계학술대회 논문집, 1999 May 01, 1999년, pp.150 - 153
홍석우 (동서대학교 정보통신공학부) , 노상수 (대양전기공업(주)) , 장영석 (경남정보대학) , 정쉬상 (동서대학교 정보통신공학부)
The electrical and physical characteristics of MgO and Pt thin-films on Si wafers deposited by r.f magnetron sputtering, were analyzed with annealing condition(100
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