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반도체 공장의 청정실 화재확산현상에 대한 수치해석적 연구
A Numerical Study on the Fire Propagation Phenomena in The Clean Room of the Semi-conductor Factory 원문보기

한국화재소방학회 2000년도 춘계학술대회 논문집, 2000 Apr. 01, 2000년, pp.23 - 29  

민동호 (중앙대학교 대학원) ,  손봉세 (경원전문대학 소방학과)

초록이 없습니다.

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문제 정의

  • 화재분석은 여러 차례의 실제 화재실험을 통하여 필요한 정보를 확보하기는 것이 가장 바람직하지만 많은 연구비와 시간이 소요되기 때문에 최근에는 컴퓨터를 이용하여 화재성상을 연구하는 것이 일반적인 추세이다. 따라서 본 연구에서는 반도체 공정에서 가장 중요한 공정라인 청정실의 내부공간에서 가상 화재가 발생하였을 경우 온도분포와 속도분포, 연기의 분포상태를 파악하여 특수 방호공간의 방재안전대책에 필요한 기초자료를 제공하는데 있다.
  • 본 연구에서는 반도체 공장의 Clean Room에서 사용하는 가스가 누출되었을 때 발생하는 화재 확산현상을 컴퓨터를 이용하여 수치적로 해석하였다. Clean Roome 고정밀도 제품을 생산하는 공정라인이기 때문에 청정상태를 유지하도록 천장에서 깨끗한 공기를 공급하고 바닥으로 공기를 배출할 수 있는 구조로 되어있다.

가설 설정

  • 하지만 화재가 발생하면 전원공급의 차단으로 공조시설이 작동되지 않는 경우가 발생하고 비상전원이 작동하더라도 배기만이 작동되는 경우가 대부분이다. 따라서 본 연구에서는 화재발생 후 150초까지는 정상적으로 공조설비가 작동되고 화재발생 150초가 지난 후에는 상용전원의 공급이 차단되는 조건으로 가정하여 화재 시뮬레이션을 실시하였다. 또한 제조실 내부에서 화재가 발생할 경우에 대한 Fire Simulatione 가스누출 사고로 인하여 화재가 발생하는 것으로 가정하였고, 화재화중은 3MW로서 화재발생 75초까지 선형적으로 성장하여 Fully Development 상태로 가정하였다.
  • 따라서 본 연구에서는 화재발생 후 150초까지는 정상적으로 공조설비가 작동되고 화재발생 150초가 지난 후에는 상용전원의 공급이 차단되는 조건으로 가정하여 화재 시뮬레이션을 실시하였다. 또한 제조실 내부에서 화재가 발생할 경우에 대한 Fire Simulatione 가스누출 사고로 인하여 화재가 발생하는 것으로 가정하였고, 화재화중은 3MW로서 화재발생 75초까지 선형적으로 성장하여 Fully Development 상태로 가정하였다. 이러한 가상화재 에 대한 Clean Room 내부의 온도분포, 연기 유동 및 유동속도를 시간에 따라 3차원으로 해석하였다.
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