$\require{mediawiki-texvc}$

연합인증

연합인증 가입 기관의 연구자들은 소속기관의 인증정보(ID와 암호)를 이용해 다른 대학, 연구기관, 서비스 공급자의 다양한 온라인 자원과 연구 데이터를 이용할 수 있습니다.

이는 여행자가 자국에서 발행 받은 여권으로 세계 각국을 자유롭게 여행할 수 있는 것과 같습니다.

연합인증으로 이용이 가능한 서비스는 NTIS, DataON, Edison, Kafe, Webinar 등이 있습니다.

한번의 인증절차만으로 연합인증 가입 서비스에 추가 로그인 없이 이용이 가능합니다.

다만, 연합인증을 위해서는 최초 1회만 인증 절차가 필요합니다. (회원이 아닐 경우 회원 가입이 필요합니다.)

연합인증 절차는 다음과 같습니다.

최초이용시에는
ScienceON에 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 로그인 (본인 확인 또는 회원가입) → 서비스 이용

그 이후에는
ScienceON 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 서비스 이용

연합인증을 활용하시면 KISTI가 제공하는 다양한 서비스를 편리하게 이용하실 수 있습니다.

진공증착된 Zn박막의 seed layer에 따른 구조와 특성
Structures and properties of vacuum-evaporated Zn thin films with various seed layers 원문보기

한국전기전자재료학회 2000년도 추계학술대회 논문집, 2000 Nov. 01, 2000년, pp.328 - 331  

민복기 (한국전기연구소 박형전기소자 T.F.T.) ,  김인성 (한국전기연구소 박형전기소자 T.F.T.) ,  송재성 (한국전기연구소 박형전기소자 T.F.T.) ,  이병윤 (한국전기연구소 신전력기기 연구그룹) ,  박경엽 (한국전기연구소 신전력기기 연구그룹) ,  위상봉 (한국기술교육대학교 정보기술공학부)

Abstract AI-Helper 아이콘AI-Helper

The effect of the constituent elements and their composition of the seed layer on the properties of the evaporated Zn thin films was investigated. It was carried out by the analysis of the preferred orientation and the grain size, and the corrosion characteristics. Seed layers were prepared by evapo...

AI 본문요약
AI-Helper 아이콘 AI-Helper

* AI 자동 식별 결과로 적합하지 않은 문장이 있을 수 있으니, 이용에 유의하시기 바랍니다.

문제 정의

  • 따라서 본 연구에서는 Zn 박막을 증착하기에 앞서 기판에 각각 다른 조성의 seed layer를 먼저 형성함에 의해 그 위에 증착되는 Zn 박막에서 나타날 수 있는 미세구조의 변화를 조사하고자 하였다. 또한 Zn 증착 박막에 대한 가속 부식실험을 행함으로써 각각의 조건에 대한 부식 특성을 고찰하고, 나아가서는 내식성 향상 방안을 도출하고자 하였다.
  • 또한 Zn 증착 박막에 대한 가속 부식실험을 행함으로써 각각의 조건에 대한 부식 특성을 고찰하고, 나아가서는 내식성 향상 방안을 도출하고자 하였다.
  • 본 연구에서는 금속막 증착 캐패시터의 증착 재로 널리 사용되고 있는 Zn 박막의 대기 산화에 대한 내식성의 향상 방안의 하나로 Zn 박막의 증착에 앞서 seed lay er 를 도입하고, 또한 seed lay er에 결정 구조상 조밀격자 구조를 가지고 았으며, 전도도가 좋은 Cu를 기존의 seed layer 재료인 Al에 소량 첨가함으로써 그 위에 증착되는 Zn 박막의 미세구조의 변화를 유도하고 따라서 부식특성을 개선하고자 하였다.
  • 이때 대기 중에서의 산화에는 장시간이 소요되므로, 온도 4*0 0 및 상대습도 80%의 열악한 조건에서 방치시키면서 시간에 따른 박막의 전기저항올 측정함으로써 박막의 산화에 대한 상대적인 평가지표로 활용하고자 하였다.
  • 제조된 Zn 박막의 부식 특성은 박막의 면저항의변화를 측정함으로써 간접적인 정보를 얻고자 하였다. 이때 대기 중에서의 산화에는 장시간이 소요되므로, 온도 4*0 0 및 상대습도 80%의 열악한 조건에서 방치시키면서 시간에 따른 박막의 전기저항올 측정함으로써 박막의 산화에 대한 상대적인 평가지표로 활용하고자 하였다.
본문요약 정보가 도움이 되었나요?

관련 콘텐츠

섹션별 컨텐츠 바로가기

AI-Helper ※ AI-Helper는 오픈소스 모델을 사용합니다.

AI-Helper 아이콘
AI-Helper
안녕하세요, AI-Helper입니다. 좌측 "선택된 텍스트"에서 텍스트를 선택하여 요약, 번역, 용어설명을 실행하세요.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.

선택된 텍스트

맨위로