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NTIS 바로가기한국전기전자재료학회 1996년도 춘계학술대회 논문집, 1996 May 01, 1996년, pp.224 - 227
정귀상 (동서대학교 메카트로닉스공학과) , 노상수 (동서대학교 메카트로닉스공학과)
Platinum thin films were deposited on Si-wafer by DC magnetron sputtering for RTD (Resistance Thermometer Devices). We investigated the physical and electrical characteristics of these films under various conditions, the input power, working vacuum, temperature of substrate and also after annealing ...
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