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NTIS 바로가기한국진공학회 1999년도 제17회 학술발표회 논문개요집, 1999 July 01, 1999년, pp.199 - 199
한영건 (한국과학기술연구원 박막기술센터) , 조준식 (한국과학기술연구원 박막기술센터) , 최성창 (한국과학기술연구원 박막기술센터) , 고석근 (한국과학기술연구원 박막기술센터) , 김동환 (고려대학교 재료·금속공학부)
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