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NTIS 바로가기전력전자학회 2003년도 춘계전력전자학술대회 논문집(2), 2003 July 01, 2003년, pp.611 - 615
김수석 (서울산업대학교) , 원충연 (성균관대학교) , 최대규 (뉴파워프라즈마) , 최상돈 (뉴파워프라즈마)
In this paper, a operation characteristics and analysis of the HB(half bridge) inverter for remote plasma system are studied. the remote plasma system is cleaning system for the chemical vapor deposition (CVD) chamber in semiconductor processing. The remote plasma system is powered by the RF generat...
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