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NTIS 바로가기한국소음진동공학회 2002년도 춘계학술대회논문집, 2002 May 01, 2002년, pp.778 - 784
백재호 , 손성완
FFU are used increasingly by the microeleceronics industry to provide clean recirculating air for the fabrication of integrated circuits and laminar flow air. There may be several hundred ffu in a large cleanroom, covering 100% of the ceiling area. Hence, there is of often knowledge in the inside an...
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