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Rotating Compensator Spectroscopic Ellipsometry의 개발 및 응용 원문보기

한국반도체및디스플레이장비학회 2002년도 추계학술대회 발표 논문집, 2002 Nov. 01, 2002년, pp.3 - 9  

이재호 (한양대학교 물리학과) ,  방경윤 (한양대학교 물리학과) ,  박준택 (한양대학교 물리학과) ,  오혜근 (한양대학교 물리학과) ,  안일선 (한양대학교 물리학과)

초록
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Rotating compensator spectroscopic ellipsometry의 개발과 그의 응용에 대하여 연구하였다. Spectroscopic ellipsometry는 편광된 빛이 물체의 표면에서 반사된 후 빛의 편광된 상태를 넓은 파장의 영역에 걸쳐서 측정하여 그 물질의 광학적 특성을 알아 낼 수 있는 기술이다. RCSE의 경우 얇은 투명 박막에 보다 정확한 값을 줄 뿐만 아니라, 박막의 균질도를 알 수 있는 편광 정도을 측정을 할 수 있다. 본 장비의 측정 시간은 십여 초 정도이고, 분광 범위는 1.5 eV ~ 4.5 eV이다. RCSE를 이용한 박막의 광학적 물성과 두께 그리고 deep-UV용 감광제의 선폭을 측정하였다.

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