$\require{mediawiki-texvc}$

연합인증

연합인증 가입 기관의 연구자들은 소속기관의 인증정보(ID와 암호)를 이용해 다른 대학, 연구기관, 서비스 공급자의 다양한 온라인 자원과 연구 데이터를 이용할 수 있습니다.

이는 여행자가 자국에서 발행 받은 여권으로 세계 각국을 자유롭게 여행할 수 있는 것과 같습니다.

연합인증으로 이용이 가능한 서비스는 NTIS, DataON, Edison, Kafe, Webinar 등이 있습니다.

한번의 인증절차만으로 연합인증 가입 서비스에 추가 로그인 없이 이용이 가능합니다.

다만, 연합인증을 위해서는 최초 1회만 인증 절차가 필요합니다. (회원이 아닐 경우 회원 가입이 필요합니다.)

연합인증 절차는 다음과 같습니다.

최초이용시에는
ScienceON에 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 로그인 (본인 확인 또는 회원가입) → 서비스 이용

그 이후에는
ScienceON 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 서비스 이용

연합인증을 활용하시면 KISTI가 제공하는 다양한 서비스를 편리하게 이용하실 수 있습니다.

반도체 제조공정에서의 대기오염물질 배출특성 및 배출계수 산정에 관한 연구
A Study on the Emission Characteristics and the Estimation of Emission Factor for Air Pollutants in Semiconductor Manufacturing 원문보기

한국대기환경학회 2004년도 추계학술대회 논문집, 2004 Nov. 01, 2004년, pp.143 - 144  

엄윤성 (국립환경연구원 대기공학과) ,  김대곤 (국립환경연구원 대기공학과) ,  이은정 (국립환경연구원 대기공학과) ,  이석조 (국립환경연구원 대기공학과) ,  김정수 (국립환경연구원 대기공학과) ,  차준석 (국립환경연구원 대기공학과) ,  이대균 (국립환경연구원 대기공학과) ,  방선애 (국립환경연구원 대기공학과) ,  홍지형 (국립환경연구원 대기공학과)

초록이 없습니다.

AI 본문요약
AI-Helper 아이콘 AI-Helper

* AI 자동 식별 결과로 적합하지 않은 문장이 있을 수 있으니, 이용에 유의하시기 바랍니다.

문제 정의

  • 국내의 대기배출원 분류체계는 이미 제시한 바 있으며(허정숙, 2002a), 배출원 분류체계에 맞추어 배출원별 배출특성과 배출계수 산정 등 일련의 연구를 진행하고 있다. 본 연구는 전자장비 중반도체 제조공정에 대한 대기배출특성을 파악하고 배출계수 개발 및 오염배출량 산정을 하고자 하였다.
본문요약 정보가 도움이 되었나요?

관련 콘텐츠

이 논문과 함께 이용한 콘텐츠

섹션별 컨텐츠 바로가기

AI-Helper ※ AI-Helper는 오픈소스 모델을 사용합니다.

AI-Helper 아이콘
AI-Helper
안녕하세요, AI-Helper입니다. 좌측 "선택된 텍스트"에서 텍스트를 선택하여 요약, 번역, 용어설명을 실행하세요.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.

선택된 텍스트

맨위로