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스크린 인쇄법에 의해 제작된 유기 박막 트랜지스터용 전극에 관한 연구
A Study on Contacts for Organic thin-film transistors fabricated by Screen Printing Method 원문보기

한국정밀공학회 2006년도 춘계학술대회 논문집, 2006 May 01, 2006년, pp.591 - 592  

이미영 (부경대 화상정보공학부) ,  남수용 (부경대 화상정보공학부)

Abstract AI-Helper 아이콘AI-Helper

We studied about the manufacture of the drain-source contacts for OTFTs(organic thin-film transistors) by using screen printing method. The conductive fillers used Ag and carbon black. The conductive contacts with $100{\mu}m$ of channel length were screen printed on a silicon dioxide gate...

AI 본문요약
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제안 방법

  • 경도 및 체적 수축 등을 검토하여 선택한 뒤/0 Ag(KP-P3, 件)코나켐) 분말의 비율을 달리하여 3종류의 Ag 페이스트를 제조하였다. 그 조합비를 Table 1 에 나타내었다.
  • 인쇄된 전극 패턴은 광학현미경인 Olympus BX60(Japan)을 이용하여, 50배율에서 관찰하였고, 그 전도성은 4-point probe 를 사용하여 측정하였다. 그리고 인쇄된 전극층위에 유기반도체인 p type 의 pent acene 을 진공 열 증착하여 0TFT 디바이스를 제작한 뒤, 그 특성을 4146B parameter analyser(Agi lenet)를 통해 측정하였다.
  • 조합비를 Table 1 에 나타내었다. 또한, 전도성 carbon black 페이스트는 현재 스크린 인쇄용으로 시판되고 있는 열건조 타입의 전도성 페이스트(祉etech)를 사용하여 그 특성을 검토하였다.
  • 이.를 위해 전도성 필러로 Ag 및 carbon black 을 사용하여 전도성 페이스트를 제조하였고. 스크린 인쇄법을 이용하여 형성된 전극들의 특성을 검토하였다.
  • D유기 트랜지스터를 제작하는 방법에는 재료가 유기물이기 때문에, 용액 프로세스가 가능하여, 잉크젯 프린팅, » 4) 스크린 프린팅户 dipping, spin coating, casting 등의 저가 격 프로세스가 이용되고 있다. 연구에서는 이러한 제조방법 중에서 스크린 마스크를 이용하여 필요한 부분에만 패턴을 형성함과 동시에 성막이 가능한 스크린 인쇄법을 이용하여. 유기 트랜지스터의 source-drain contacts 를 형성하였다.
  • 를 위해 전도성 필러로 Ag 및 carbon black 을 사용하여 전도성 페이스트를 제조하였고. 스크린 인쇄법을 이용하여 형성된 전극들의 특성을 검토하였다.
  • 본 연구에서는 이러한 제조방법 중에서 스크린 마스크를 이용하여 필요한 부분에만 패턴을 형성함과 동시에 성막이 가능한 스크린 인쇄법을 이용하여. 유기 트랜지스터의 source-drain contacts 를 형성하였다. 이.
  • 인쇄하였다. 인쇄 조건은 스퀴지각도를 80도로 고정시키고, 이격거리 (1.2mm-2.5mm), 스퀴지 밀어넣는 양 (degree of squeegee pushing in, 0.05-0.5mm), 인쇄 속도(100느80mni/sec)는 전도성 페이스트의 레 올 로지 특성에 따라 조절하였다.
  • 인쇄된 전극 패턴은 광학현미경인 Olympus BX60(Japan)을 이용하여, 50배율에서 관찰하였고, 그 전도성은 4-point probe 를 사용하여 측정하였다. 그리고 인쇄된 전극층위에 유기반도체인 p type 의 pent acene 을 진공 열 증착하여 0TFT 디바이스를 제작한 뒤, 그 특성을 4146B parameter analyser(Agi lenet)를 통해 측정하였다.

대상 데이터

  • 상기의 스크린판을 이용하여 전도성 페이스트를 반자동 스크린 인쇄기(BS-150ATC, 반도산업 (주))에 의해 Si02 기판 위에 스크린 인쇄하였다. 인쇄 조건은 스퀴지각도를 80도로 고정시키고, 이격거리 (1.
  • 제판에 사용된 감광유제는 해상력과 내용제성이 우수한 dual curing type 으로 인쇄에 있어서 페이스트의 번짐을 방지할 목적으로 불소계수지를 첨가한 감광유제를 사용하였다
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