제안 방법

•  XY 2 축 모두 10 μm 이상의 변위를 확보하였으며, 스테이지의 공진 주파수 측정 실험에서는 Y 축 경우 설게 결과와 일치하지만 X 축의 경우 오차가 발생하여 오차의 원인과 해결책에 대해 고찰하고 있다.
• 힌지 스테이지의 MaximumStroke 측정실험과 유사하게 공진주파수 측정 실험을 실시하였다. Maximum Stroke 측정 실험에서 사용되었던 장비 외 함수발생기(Functiongenerator) 를 사용하는데, 함수발생기의 Amp 값을 정한 후 주파수 값을 변화 시키면서 진폭 값의 급격한 변화가 나타나는 부분을 찾는 방식을 사용하였다. Fig.
• PZT 를 이용한 힌지스테이지의 각축의 움직임에 대하여 각각의 Maximum Stroke 측정을 위한 실험을 진행 하였다. PZT 를 설치하고 변위 측정용 센서인 Gap sensor(ADE2804) 와 스테이지 사이의 거리를 조절한다.
• XY 힌지 스테이지는 PZT 의 운동을 증폭하거나 전달하는 레버와 전달된 운동을 정확히 X 혹은 Y 방향으로 안내하는 가이드로 구성된다. 노치 힌지를 가이드로 이용할 경우 형상, 위치 등의 오차 요인에 의해 정밀도 저하가 나타날 수 있으므로 본 연구에서는 리프스프링을 이용한 형태를 선택한다. [3] 레버는 지레의 원리를 이용하므로 핀 조인트 역할을 하는 노치힌지와 지렛대에 해당하는 부재를 사용한다.
• 이 구조에는 X 와 Y 방향 각각에 대하여 레버와 가이드로 구성되어 있다. 레버는 노치힌지를 이용하여 구현하였고, 가이드는 이중복합 스프링 구조를 이용하였다.
• 본 논문에서는 미세 구동을 위한 가이드 기구로 쓰이는 노치힌치와 리프 스프링을 이용한 리프스피링 힌지의 정역학적, 동역학적 모델링을 하였고 압전소자(PZT)를 이용한 XY 2 축 힌지스테이지를 제작하고 실험하였다. XY 2 축 모두 10 μm 이상의 변위를 확보하였으며, 스테이지의 공진 주파수 측정 실험에서는 Y 축 경우 설게 결과와 일치하지만 X 축의 경우 오차가 발생하여 오차의 원인과 해결책에 대해 고찰하고 있다.
• 모든 구멍작업과 탭핑작업 등을 끝내고 마지막에 줄방전 가공을 하여 스테이지에 무리한 힘이 가해져 생기는 영향을 없애준다. 압전소자(PZT) 는 전달력이나 모멘트에 아주 약하고 취성이므로 스테이지와 압전소자 사이에 금속볼을 삽입하여 기구적으로 결합(kinematic coupling) 시켰다. 이것은 스테이지에 구동축 외의 필요치 않은 축의 힘을 전달하지 않도록 하여 여러가지 가이드 오차 (guide error)를 줄여둔다.
• 힌지 스테이지의 MaximumStroke 측정실험과 유사하게 공진주파수 측정 실험을 실시하였다. Maximum Stroke 측정 실험에서 사용되었던 장비 외 함수발생기(Functiongenerator) 를 사용하는데, 함수발생기의 Amp 값을 정한 후 주파수 값을 변화 시키면서 진폭 값의 급격한 변화가 나타나는 부분을 찾는 방식을 사용하였다.