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문제 정의
- 특히 산화알루미늄 박막의 경우 가시광선의 경우 여과 없이 투과함을 보여주고 있다. 그러나 각 조건에 따라 박막증착두께의 한계성 및 ICP power가 임계크기 이상일 경우 박막의 크랙현상이 발생하게 되는 것을 관찰 가능하여 실질적인 응력의 측정을 통해 해석하려 노력하였다. 응력의 증가로 인한 폴리카보네이트 기판의 갈라짐과 산화알루미늄의 버클링(buckling)현상, 그리고 박막 두께의 한계성 등을 고찰해 보았다.
- 알파-스텝방법과 AFM (atomic force microscopy)는 박막의 두께 및 표면 거칠기를 구하기 위해 사용되었다. 또한 공정변수 변화에 따른 잔류응력의 측정을 통해 박막증착 시 나타나는 크랙에 대해 고찰해 보았다.
- 본 연구에서는 폴리카보네이트 위에 고경도의 (-17GPa) 산화알루미늄 막을 증착하여 내마모 기능성을 부여하고자한다. 산화알루미늄 막의 경우 가시광선 투과율이 우수하여 유리나 폴리카보네이트의 투과율을 떨어뜨리지 않을 뿐만 아니라 투명성을 갖는 산화막중 가장 우수한 보호코팅물성을 가지고 있는 재료이다.
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